在半导体芯片制造过程中,对生产环境的洁净度要求非常高,必须禁止因粉尘颗粒、工艺偏差等因素造成晶体短路或断路,控制净化环境下的作业现场中超微小颗粒物数量,以保证产品质量和提升产品良率,特别是对于0.1μm粒子的检测至关重要。

在半导体芯片生产过程中,粒子计数器主要应用于：

1.Fab厂的制造工艺检测：在晶圆的光刻、涂胶显影、刻蚀等多个工艺环节中,使用粒子计数器检测环境中的尘埃粒子,确保工艺的精确性。

2.gao端封装过程：在晶圆切割封装过程中,粒子计数器同样发挥着关键作用,保证封装质量。

3.半导体设备生产工艺的质量监测：通过粒子计数器对设备工艺点进行监控,确保生产过程的稳定性和产品质量。

参考法规和标准：

粒子计数器严格遵守ISO 21501-4法规,并满足ISO 14644-1（2015）洁净室悬浮粒子测试方法的要求,适用于class 1至6级的洁净室环境。

使用方法：

参照ISO14644-1（2015）法规的内容,针对不同洁净度等级下监测粒径的上限要求,通过法规内容的计算方法测算采样点数及每个点采样时间,对仪器进行设定后,按照该方法进行逐个点位测试。

KANOMAX公司推出的超小型尘埃粒子计数器3950-00,同时监测0.1μm和0.3μm的单位体积内的微小粒子个数,也可作为传感器嵌入生产设备实时监测作业现场的超微粒子,为净化作业环境的洁净度评定提供依据,为芯片制造保驾护航！

Kanomax尘埃粒子计数器3950-00,不仅将经典品质传承,而且实现了嵌入组装在半导体制造等装置中。

既往产品尺寸难以嵌入半导体制造装备中使用,本产品通过压倒性的小型化,使传感器嵌入设备中使用变为简便易行。

致轻、致小,采样量2.83L/min,同时测试0.1μm、0.3μm微小粒子,4.3英寸彩色触摸屏显示屏,可使用附带软件在PC上显示测试数据。设有RS-485、Ethernet、USB通讯接口。

0.1μm超小型粒子计数器KANOMAX 3950在半导体芯片制造环境中的应用