当前位置：四方光电股份有限公司>>气体传感器>> 六氟化钨传感器
| 产地 | 国产 | 产品新旧 | 全新 |
|---|---|---|---|
| 检测原理 | NDIR | 检测气体 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
六氟化钨传感器传感器是由四方光电自主研发的高性能气体传感器,产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议,适合半导体行业化学沉积设备、原子层沉积设备腔室的清洁终点监测。
六氟化钨传感器传感器产品特性
使用NDIR技术,多气体监测支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)
响应时间快,高灵敏度
无耗材
模拟/数字通信
模块化设计,便于集成
六氟化钨传感器传感器技术参数
| 检测原理 | NDIR |
| 检测气体 | SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重复性 | ±0.5% |
| 线性 | ±1%F.S. |
| 检测限 | 1ppm |
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