膜介电低温等离子体发生器,是继玻璃陶瓷等硬质介电材料发生器的百年技术发展后,一种全新的介电质材料技术及发生器介电技术成果。由于基础材料与核心技术方面的突破,在提高发生器的可靠性、高效能,实现大型发生器元器件及大型发生器机组设备的发展进成中,获得新路径。膜介电质,有优良的电气性能、机械性能、耐温性、耐辐射性、电化学稳定性以及良好的阻燃性,在200℃的破坏性试验中连续工作。与传统硬质介电材料不同,RTPF膜介质为0.11~0.3mm超薄的软质介电结构,收缩率130℃时≤1.0%,电损0.01~0.15,介质效率98%,具有较宽的动态高频特性,适合任意放电面积设计值的单体RTPF发生器元件及发生器模块装置。2003年3月,我们首先设计完成了膜介电RTPF-G63和RTPF-G108规格的强电离低温等离子体发生器装置,*应用于等...