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使用NexION 1100G ICPMS分析高纯石英样品中的杂质元素
阅读：69 发布时间：2024/9/12
NexION 1100G ICPMS
本文介绍了使用NexION 1100G ICPMS测试高纯石英材料中的多种元素杂质。
√高纯石英具有稳定的化学特性、优异的电绝缘性和透光性,是半导体行业不可或缺的原材料之一。为了得到高纯石英,需要去除石英原料的的多种杂质。元素杂质是影响高纯石英质量的重要指标,需要精确测量,其中碱金属、碱土金属及过渡金属最为关注。
√
在百级洁净台将石英样品使用高纯氢氟酸溶解,溶解后的样品在解热版上赶酸至近干,之后使用2%氢氟酸复溶,溶液上机测试即可。
图 1 测试元素标准曲线
测试结果如下表,为了验证测试结果的准确度,对平行-1的溶液样品进行了加标回收实验,元素的加标浓度均为100ppt,结果如下：
珀金埃尔默NexION 1100G系列电感耦合等离子体质谱仪采用四极杆作为反应池,使用活性反应气消除如40Ar+对40Ca+、40Ar16O+对56Fe+的质谱干扰,同时利用四极杆反应池的质量筛选功能控制氨气产生的副产物,彻底消除测试过程中遇到的质谱干扰,保证测试结果的准确度。