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气冷罗茨真空泵的应用领域
阅读：1405 发布时间：2024/5/14
气冷罗茨真空泵意味着该泵可以在大气压下开头泵送,并且可以将泵送的气体直接排放到大气中。泵腔内没有油或其他介质,并且泵的极限压力与油密封的真空泵处于同一水平。或靠近机械真空泵。
在气冷罗茨真空泵行业中,当前大多数真空泵都使用油,水和其他聚合物作为泵介质。它们的主要功能是润滑,冷却和密封。但是,真空泵和抽运系统有以下问题要解决：1、泵的工作介质污染了抽运的容奣。最直接的后果是它将影响产品质量并增加泵的维护成本；2、在此过程中,反应材料会使泵中的介质变质,从而导致泵体无法正常工作。 这是当前面临的两个主要问题。
气冷罗茨真空泵的使用可以取得很好的效果,那么气冷罗茨真空泵的应用领域有哪些？以下将重点介绍其应用范围：
1、气冶罗茨泵适用于化学,制药和食品德业的蒸馏,干燥,脱气,包装等,以防止有机溶剂污染；
2、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺；
3、半导体刻蚀工艺,这些生产工艺常常使用腐蚀性气体和磨料颗粒；
4、除半导体工艺外,某些还会产生颗粒的工艺。在这些过程中,颗粒不会混入油泵中,而是从油泵中排出,这可以通过干式真空泵解决；
5、用作常规无油清洁真空系统的前泵,以防止油污染。
