特点

• 可编程多气体/多量程功能
• Brooks® MultiFlo™ 气体数据库包含数千种天然气体测定结果,可用于建立修正函数
• 流量响应时间不足 1 秒,精度可达目标应用设定值的 1%
• 非常适用于各种气体
• 快速响应,哈氏合金传感器
• 拥有独立于工具通信并可轻松接入的诊断服务端口
• 多协议通信选件包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485 模拟接口

优势

• MultiFlo™ 技术能够在不拆除管路中 MFC 的条件下设定新气体和满量程,从而限度延长运行时间
• MultiFlo™ 编程功能简单、易用；60 s 内即可完成新气体的选择操作
• 可大幅降低设备商和大型终端用户的流量控制器库存
• 得益于基于国际标准的高级计量系统和校准技术,产品拥有出色的工艺气体测量精度
• 耐腐蚀传感器拥有的长期稳定性,可确保良率和产能
• 对用户开放的服务端口简化了故障排除和诊断操作
• 各种橡胶密封件为各种应用提供了经济实惠的性能灵活性
• 多协议通信接口可集成至现有系统

应用

• 太阳能电池化学气相沉积
• 生命科学实验室
• 真空处理
• 纳米技术/MEMS 制造
• 等离子体、玻璃和卷绕镀膜系统
• 非常适用于管汇系统/气体输送系统