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详细介绍
5850EMH系列高温质量流量控制计
页面副小标题 - 已被验证的长期稳定性,高温应用中超高纯表现
型号 5850EMH / 5851EMH
来自 Brooks Instrument 的 5850EMH 系列高温金属密封质量流量控制器结合出色的金属密封泄漏完整性,为高温气体测量和控制提供了的性能,具有多种选择,允许的应用灵活性。5850EMH 系列的核心是高稳定的传感器,其提供与流速线性相关的电气输出信号。该信号用于指示、记录和/或控制目的而无需自动归零电路。
特点
- 高泄漏完整性（小于 10-11 Pa.m3/s (10-10 atm.cc/s) He）
- 宽流速范围（0.003 - 100 slpm）
- 高纯度 VAR 316L 不锈钢
- 无磨粒
- 氦泄漏检查端口
- 常闭阀（可选常开阀）
- 电致动阀复位
- 低命令流量断流
- TTL 兼容"关阀"功能
优势
- 稳定、可靠的产品平台
- 高流量,高达 100 lpm（N2 当量）
- 全金属流路提高气体纯度及减少泄漏
- 仅使用模拟输入/输出容易安装和维修
应用
- 光纤制造——MCVD,OVD,AVD
- 水汽流量控制
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