速、准的MFC

针对半导体工艺的性能

• 嵌入式诊断利用实时以太网数据采集能力
• 超稳定流量传感器（每年≤设定值0.15%的漂移）使低流量更精准,同时减少维修的需求
• 改进的阀门关闭（≤bin范围的0.15%）减少阀门内漏,从而改善片晶圆效应
• 新增强的抗压力瞬时波动在持续流体传输中降低了串扰流敏感度

特点

• 每年<>
• 响应稳定时间: 300毫秒 - <>
• 流量可达到300 slpm
• 全金属密封的流体通路：可选5µ 或 10µ inch Ra的表面粗糙度
• 抗腐蚀的哈氏合金升温传感器在温度升高时改善了测量的重复性
• MultiFloTM 气体和量程的可编程性—一台表,几千种气体和量程的组合,无需把MFC从管路上拆除,也不会影响精度
• 方便的用户显示和独立的诊断/服务端口可帮助仪表安装,监测和故障排查
• GF120 安全传输系统(SDS®)是布鲁克斯的低压降质量流量控制计,用于离子注入和刻蚀工艺的负压安全传输系统的气体传输

优势

• 超常的性能
  
  • 快速反应时间改进应用效率
• 灵活的拓扑
  
  • 几乎无限的网络拓扑可能
• 简单、坚固
  
  • 配置,诊断以及维护
• 负担能力
  
  • 标准的以太网端口

应用

• 半导体刻蚀设备
• 薄膜化学气相沉积系统 (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
• 物理气相沉积 (PVD) 系统
• 外延工艺系统