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iPH半导体严苛系列

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更新时间：2024-05-10 09:42:04浏览次数：199

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产品简介

iPH半导体严苛系列

详细介绍

产品型号 及名称
真空泵Vacuum pump
用途
Etch/Implant/HDP-CVD/SACVD/MOCVD/PECVD/LPCVD/ALD
特点
iPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能,适用于严苛制程。
它优良的性能源自于最短的转子排气路劲和*的转子型线设计。
汉钟型线设计,上海、中国台湾制造；
较之前的版本节能25%,配置有省电模式；
带有加热系统避免制程物沉积；
优化的尺寸,即插即用。
技术指标

Product
Unit
iPH100
iPH200
iPH610
iPH1210
iPH1210H
iPH1220
iPH1820
Dry Pump
m 3 /h
120
200
120
120
120
200
200
Booster
m 3 /h
/
/
600
1200
1200
1200
1800
Max.Pumping Speed
m 3 /h
120
200
700
1100
1100
1250
1850
Ultimate Pressure
Torr
7.5 × 10 -3
7.5 × 10 -3
7.5 × 10 -4
7.5 × 10 -4
7.5 × 10 -4
7.5 × 10 -4
7.5 × 10 -4
System Power at Ult.
kW
2.1
3.5
2.6
3.0
3.2
4.5
4.7
Inlet
ISO
63
63
100
100
100
100
160
Outlet
NW
40
40
40
40
40
40
40
Dimension(mm)
L
830
830
830
830
830
830
830
W
400
400
400
400
400
400
400
H
526
526
780
780
780
780
830
Weight
Kg
280
300
450
455
460
470
530

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