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详细介绍
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产品型号及名称
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真空泵
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Vacuum pump
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用途
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Load Lock/Transfer/Metrology /PVD/Etch/Ashing /Litho/Implant
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特点
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绿色制造、全新系列干式真空泵
体积小、耗功低、大幅度降低成本
用于中度严苛制程的节能泵
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技术指标
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