详细介绍
产品型号
及名称
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真空泵
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Vacuum pump
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用途
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Semi conductor,Load Lock,TFT-LCD,Touch Panel,Solar,Coating,Plasma Process,Drying Process,Degassing.
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特点
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特点 Features
l 低电能消耗
Lowest Power Consumption
l 节能模式的应用降低整体功耗
Idle saving mode applied to save total power Consumption
l 体积小,重量轻
Small size,light weight and easy installation
l 节省了安装空间
Saving space for installation site
l 半导体干净制程的
Best choice for semiconductor light processes
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技术指标
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