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PMF半导体节能系列

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更新时间:2024-05-10 09:39:48浏览次数:195

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产品简介

PMF半导体节能系列

详细介绍

产品型号
及名称
真空泵
Vacuum pump
用途
Semi conductor,Load Lock,TFT-LCD,Touch Panel,Solar,Coating,Plasma Process,Drying Process,Degassing.
特点
特点 Features
l   低电能消耗
Lowest Power Consumption
l   节能模式的应用降低整体功耗
Idle saving mode applied to save total power Consumption
l   体积小,重量轻
Small size,light weight and easy installation
l   节省了安装空间
Saving space for installation site
l   半导体干净制程的
Best choice for semiconductor light processes
技术指标
Model
Unit
PMF100
PMF120
PMF612
Pumping Speed
L/min
1666
1933
10000
m ³/hr
100
116
600
cfm
59
69
353
Ultimate Pressure
Torr
≦7.5×10 -3
≦7.5×10 -3
≦7.5×10 -4
mbar
≦1×10 -2
≦1×10 -2
≦1×10 -3
Motor
Voltage
V
220V/380V
220V/380V
220V/380V
Rated Power
Kw
2.2
2.2
2.2+2.2
Connection
Inlet
NW50
NW50
ISO80
Outlet
NW25
NW25
NW40
Cooling Water Dim.
Pressure
kg/cm ²
2.0-4.0( △P>1kg/cm 2 )
2.0-4.0( △P>1kg/cm 2 )
2.0-4.0( △P>1kg/cm 2)
Min.Flow
L/min
1
1
1
Temp
20 ℃ 2 L/min~30℃ 5L/min
20 ℃ 2 L/min~30℃ 5L/min
20 ℃ 2 L/min~30℃ 5L/min
Comection
RC1/4"
RC1/4"
RC1/4"
L ×W×H
mm
450 ×230×275
450 ×230×275
530 ×230×520
Weight
kg
60
60
120
Nosice
dB
60
60
60
Ultimate Pressure Power
Kw
0.39
0.44
0.5

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