氮化硅陶瓷基板烧结炉

用途：主要于烧结氮化硅陶瓷基板主要配置：1.双层水冷炉体设计,压力容器钢炉壳2.等静压石墨棒作发热体,电阻加热式3.充气系统设有安全阀,压力继电器,可靠性强,安全性高

用途：主要于烧结氮化硅陶瓷基板

主要配置：

1.双层水冷炉体设计,压力容器钢炉壳

2.等静压石墨棒作发热体,电阻加热式

3.充气系统设有安全阀,压力继电器,可靠性强,安全性高。
4.电气控制采用PLC加触摸屏控制方式

5.炉后部配快冷风机,可缩短冷却时间

主要技术参数：

型号：ZT-450-22

1.高温度：2200度

2.工作温度：2000度

3.真空度：1Pa

4.气压：1MPa.

5.工作区:600X600X1400mm