详细介绍
甲岸科技等离子刻蚀机10L
甲岸科技等离子刻蚀机对进行介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀,实现各项异性刻蚀,确保细小图形转移后的保真性。满足用户对产品表面处理需求。
产品应用
1、适用于所有的基材及复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、刻蚀、清洗、镀膜。
产品特点
- 小巧灵活、操作简单、易维护。
- 引进德国核心等离子技术,质量有保障。
- 进口针阀精密流量控制计,精度高。
- 材质耐腐蚀,环保不产生金属污染。
- 多路工艺反应气体通道,保证产品清洗效果。
- 可以根据客户需求定制
型号 |
AP-E10 |
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等离子源系统 |
频 率 |
13.56MHz 射频 |
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功 率 |
0~300W 可调 |
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真空系统 |
真空腔体 |
材质 |
石英、航空铝（选配） |
腔体内部尺寸(MM) |
D200*320*（直径*深) |
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腔体容积 |
10L |
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极板 |
无 |
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密封性 |
级焊接密封 |
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泵 |
真空泵 |
双极泵/干泵（选配） |
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真空管路 |
不锈钢管、不锈钢波纹管 |
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真空计 |
电阻硅 |
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气体流量计 |
＜±1% FS |
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气路控制 |
2路处理气体气路,气体流量可调 |
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极限真空 |
3Pa |
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适用气体 |
流量范围 |
0-500SCCM（可调） |
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工艺气体 |
Ar、N₂O₂、H₂等等（可选） |
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控制系统 |
1、PLC 自动控制； |
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2、7寸触摸屏,图形用户界面； |
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3、配方程序为 0~99； |
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4、多级权限操作； |
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5、图形化曲线图自动监测工艺参数状态及错误信息； |
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6、存储工艺数据及错误信息； |
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7、报警信息提示及追溯； |
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8、图形化界面检测处理参数； |
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9、自动、手动操作可切换； |
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10、维护提示紧急停止按钮； |
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11、门感应器和真空互锁； |
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12、机器运行信号指示； |
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13、机器运行结束提示； |
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外观参数 |
外形尺寸(MM) |
550*1450*650(宽高深） |
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重 量 |
200KG |
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设施配置 |
电 力 |
三线,单相制AC220V ,50-60Hz。所有配线符合《低压配电设计规范 GB50054-95》、《低压配电装置及线路设计规范》等国标标准相关规定 |
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压缩空气 |
干燥压缩空气CDA |
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其 它 |
提供操作手册、维护手册、安装手册,易损件备件清单. |
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