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详细介绍
设备主要技术规格 |
|
设备产能 |
120PCS/h（等离子处理60S) |
激励电源 |
双微波电源2000W |
真空泵 |
锐升干泵 SDA50 |
真空管道 |
304不锈钢,高强度真空管路 |
真空腔体材质 |
铝合金 |
真空腔体体积 |
约24L |
清洗产品范围 |
80~280mm×25~90mm（长×宽）平面变形量＜2 |
料盒尺寸范围 |
180~290mm×28~93mm×200mm（长×宽×高） |
流道数量 |
同步四流道设计,左进右出。 |
轨道调节方式 |
手轮调节 |
工艺气体 |
标配氧气、氩气两路工艺气体(可定制） |
工艺气体流量 |
0-300SCCM |
冷水机 |
朕大IC3650 |
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