开云官方登录入口
详细介绍
设备主要规格
电源系统 |
双微波电源 |
自主研发与华南理工大学合作 |
功率 |
0~2000W |
|
频率 |
2.45GHz |
|
真空系统 |
真空泵 |
Kashiyama NeoDry60E |
真空管路 |
304不锈钢,高强度真空管路 |
|
材质 |
铝合金 |
|
腔体绝缘材质 |
陶瓷 |
|
密封性 |
耐腐蚀硅胶密封圈 |
|
腔体内部尺寸 |
24升 |
|
清洗产品范围 |
180~250mm×30~80mm（长×宽）平面变形量＜2 |
|
料盒尺寸范围 |
200~270mm×37~97mm×150mm（长×宽×高） |
|
轨道宽度调整方式 |
手动滚轮调节 |
|
流道数量 |
4条,流片方向左进右出方式 |
|
电极板工作面积 |
340×500mm |
|
气体系统 |
流量范围 |
0~300SCCM |
工艺气体气路 |
标配氧气、氩气两路工艺气体(可定制） |
|
控制系统 |
系统控制 |
工控机 |
防呆 |
夹料监控 |
可监控30~80mm引线框架 |
料盒防呆 |
可监控料盒是否已经放置到位 |
|
UPH |
UPH |
120PC Lead frame |
Plasma效果 |
清洗要求 |
有效去除物料正反面表面的氧化层 |
温度要求 |
连续工作温度不超过200℃ |
|
其他参数 |
外形尺寸 |
宽1300×长2000×高2064mm（含指示灯高） |
重量 |
1000KG |
|
功率 |
15KW |
|
设备外观颜色 |
银灰色 |
开云官方登录入口