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详细介绍
该设备实在简易型近空间升华炉的基础上改进而来，温区更长，管径更大，对开式结构温场对称性更好，散热更快。源坩埚和衬底总成分别放置在两个石英托架内，放置在炉膛内部的石英管轨道上。
1. 炉膛开门结构分为左右两个独立单元，上下两排灯管分别独立控温，加热结束后炉膛均可通过按钮控制或自动分开成两半，管子暴露在室温环境下，底部两个风扇强制风冷对其散热。
2. 主炉体下方分为两个区域，分别为电器控制部分和真空部分。电器控制部分内有温控电路和机械动作控制器等。真空部分包含一台直联旋片式机械真空泵、数显真空计和正压保护电路。
3. 石英管固定通过两端法兰上的支撑固定架与炉体螺栓固定连接，保证管子和法兰位置始终不变。
| 炉膛模式： | 前后移动开启式炉膛 |
| 显示模式： | 7英寸触摸屏 |
| 加热元件： | 短红外波灯管，上下水平面独立加热 |
| 工作温度： | ≤800℃ |
| 升温速率： | 10℃/s |
| 样品移动： | 无 |
| 温区长度： | 300mm（恒温区100*100mm） |
| 温度均匀性： | ≤±3℃ |
| 炉管规格： | Φ150*700mm |
| 控温精度： | ±1℃ |
| 密封方式： | 快速法兰密封 |
| 仪表补偿： | 室温自动补偿 |
| 温度曲线： | 10段"时间—温度曲线"任意可设，预存100条工艺曲线 |
| 外壳温度： | ≤50℃（室温≤25℃） |
| 超温报警： | 有 |
| 过流保护： | 有 |
| 断偶提示： | 有 |
| 测温元件： | K型铠装热电偶 |
| 炉膛材料： | 氧化铝纤维 |
| 外形尺寸： | 1100*800*1300MM |
| 整机功率： | 20kw |
| 电源参数： | 220V 50Hz |
| 真空与气氛： | |
| 抽真空能力： | 大气到≤5Pa小于5min |
| 气压范围： | 10-3Pa～105Pa，机械泵极限≤5Pa |
| 泄漏率： | ≤5-4（Pa*m3/s） |
| 真空计范围： | 大气到10-4Pa，分辨率0.01Pa |
| 气路系统： | |
| 1路进气口，内有管道布气。： | |
| 超压保护（≥1atm），根据设定压力值自动排气： | |
| 其它功能： | |
| 温度数据存储： | 可存储大于3个月的数据 |
| 数据导出： | U盘导出excel或csv格式 |
| 工艺曲线： | 触摸屏可显示设定曲线预览 |
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