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详细介绍
该设备专为实验室已有普通管式炉的用户开发而成，仅需要用户提供一下管子高度和直径即可改造。底部配备可移动炉架，方便移动和摆放位置。等离子体发生器的电源功率有100、200、300、500、1000W等功率可选，射频功率自动匹配，仅需一键操作即可启辉。
| 射频电源功率： | |
| 信号频率： | 13.56 MHz±0.005% |
| 功率输出范围： | 5W-1000W可选 |
| 功率稳定度： | ±0.1% |
| 整机效率： | >=70% |
| 功率因数： | >=90% |
| 冷却方式： | 强制风冷 |
| 真空部分： | |
| 功率： | 300W |
| 抽气速率： | 2Ls |
| 极限真空： | 4X10-2Pa |
| 气路系统： | |
| 3路质量流量计可选： | |
| 准确度： | ±1.5% |
| 重复精度： | ±0.2% |
| 工作压差范围： | 0.1～0.5 MPa |
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