详细介绍
产品介绍及用途
本系列产品供科研院所、高等院校、工矿企业等单位用作半导体、贵金属、晶体等材料的区域加热烧结,区熔(提纯、晶体生长)等用途。是本公司自行研制开发的高性能新型特种电炉,产品结构新颖,操作简便,综合性能指标较高,处于水平。
本系列产品在各温度环境下,可以分别实现坩埚上升法、坩埚下降法等水平狭窄区域连续熔炼工艺及坩埚口或坩埚底固定区熔工艺等多种工艺,并可通简易气氛(氮气、氧气及惰性气体)。并采用多段可编程式温度控制器全过程自动控制温度,可进行周期作业式生产,是理想的新型实验与生产装备。
产品性能特点
系列产品主要规格和技术参数
项目 | 单位 | DMF系列晶体生长炉 | ||||||||||
DMF-160-14型 | DMF-250-14型 | DMF-350-14型 | ||||||||||
额定加热功率 | kW | 4 | 5 | 6 | ||||||||
电压/频率 | V/Hz | 220/50-60 | 220/50-60 | 220/50-60 | ||||||||
工作室尺寸 | mm | 80*200*260 | 80*250*350 | 100*300*450 | ||||||||
工位升降行程 | mm | 160 | 250 | 350 | ||||||||
工位升降速度(可设) | mm/24h | 1-100 | 1-100 | 1-100 | ||||||||
温度 | ℃ | 1450 | ||||||||||
额定工作温度 | ℃ | 室温~1350 | ||||||||||
空炉升温时间 | min | <60 | <60 | <60 | ||||||||
温度均匀度 | ℃ | ≤±2 | ≤±2 | ≤±2 | ||||||||
温控波动度 | ℃ | ±1 | ||||||||||
温控方式 |
| 智能型程序模糊PID控制 | ||||||||||
电炉外形尺寸 | mm | 500*560*475 | 500*560*600 | 520*620*700 | ||||||||
外形尺寸 | mm | 500*830*1800 | 550*900*1980 | 570*960*2150 | ||||||||
重量(毛重) | kg | 800 | 900 | 1150 | ||||||||
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