等离子清洗机技术特点：
1.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料,耐用、防腐容易清洁。
2.仪器实现了手动,自动两种模式任意切换的工作方式,方便用户实验
3.仪器实现了程序化设计,预先编辑好程序,仪器可以自动完成实验
4.无需任何耗材使用成本低,无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可
5.电容式等离子激发,处理效果均匀,激发电极板内置样品仓内顶部悬挂
6.密闭真空环境下完成实验避免二次污染
7.40Khz射频电源,自主研发质量稳定可靠,具有自动保护功能。
8.灵活的参数设置和修改功能,可适应多种处理工艺。
9.采用皮拉尼真空技术,实时检测和显示样品仓的真实真空度,具有1Pa的真空分辨率,能够方便的接入MFC气体流量控制仪,实现对气体流量和真空度的精准控制和监测。
10.LED+金属按键控制方式,操作方便稳定可靠。
科研用等离子蚀刻机主要用于以下实验：
1、材料清洁和活化
2、等离子涂镀聚合
3、有机物去除
4、键合
5、等离子去胶
6、金属还原
7、表面刻蚀
8、材料老化实验
9、改变亲水性/疏水性
10、灰化表面有机层
