飞纳台式扫描电子显微镜Phenom ProX

飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 是的集成化成像分析系统。借助该系统,既可观察样品的表面形貌,又可分析其元素组分。

研究样品时,得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊设计的能谱探测器,飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 可以完善解决上述所有问题。

能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产生 X 射线的分析仪器。Phenom 的能谱仪无论软件、硬件都是集成设计在飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 系统中。

Element Identification (EID) 软件可以使用户实现多点分析,检测样品的元素组分。此外,该软件还可以扩展到元素分析线面扫（mapping）功能。分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。

Phenom ProX 主要技术参数

光学放大	20 - 135 X
电子放大	150,000 X
分辨率	优于 8 nm @ 10kV
数字放大	Max 12 X
光学导航相机	彩色
加速电压	5 Kv - 15 Kv 连续可调
真空模式	标准模式 降低荷电效应模式
探测器	背散射电子探测器
样品尺寸	直径 32 mm
样品高度	100 mm