功率模块和固态灌封工艺真空脱泡固化箱组

设备基本技术指标

设备名称：真空脱泡固化箱组

设备型号：AHVT-RT0120J

真空脱泡箱参数：

内箱尺寸W×H×D mm：600×600×600

外箱尺寸W×H×D mm：1250×1650×900

内箱容积 :216L

真空度：100Pa

抽真空＜133Pa时间：≤5分钟

加热方式：热辐射加热（箱体三面加热）

温度范围：RT+10～200℃

升温时间：升温时间，室温～200℃约为97分钟

固化箱参数：

内箱尺寸W×H×D mm：500×600×500

外箱尺寸(W×H×D)mm：880×1400×735

内箱容积 :150L

温度范围：RT+10～200℃

加热器：不锈钢发热管。

升温速率：≤3℃/min（全程平均空载）

温度波动度：≤±0.5℃

温度均匀度：≤2.0℃

温度偏差: ≤±2.0℃

充氮系统(选配）

a、氮气流量计：10～100L/min可调

b、氮气入口：φ10mm快接口

c、手动泄压阀，用于停电时泄压或排氮气用。