详细介绍
日立热场发射扫描电镜SU7000:
此次推出的SU7000采用全新设计的探测器,使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。以前我们要根据获得的信号来调整样品与透镜之间的距离(工作距离/以下简称WD),以设置的观察与分析条件,而SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统,可在不改变WD的条件下更高效地接收各种信号,缩短了样品观察和分析的时间,提高了测试效率。而且,SU7000还配置了可同时6通道显示界面(前代机型只能同时显示4通道),进一步升级SEM控制系统,大幅提高了信号获取速度,由此实现了样品的高通量观察。它还标配超大样品仓,增设了附件接口,可适用于各种样品的观察与分析。
日立热场发射扫描电镜SU7000创新点:
SU7000配置了可同时6通道显示界面(前代机型只能同时显示4通道),进一步升级SEM控制系统,大幅提高了信号获取速度,由此实现了样品的高通量观察。
标配超大样品仓,增设了附件接口,可适用于各种样品的观察与分析;
SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统,可在不改变工作距离的条件下更高效地接收各种信号,缩短了样品观察和分析的时间,提高了测试效率。
主要特点:
1.在相同WD的条件下,可同时实现二次电子、背散射电子观察与X射线荧光分析
2.可同时实现6通道检测与显示
3.在像素10240 x 7680时,也可获得图像数据
4.同级别*设备中最 多的可配置18个附件接口5.支持低至300Pa的低真空模式(选配);*空间分辨率在1 nm/1 kV以下