详细介绍
实验室PECVD设备由SGM TF1200双温区真空管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。双温区管式炉每个温区可以独立控制、设置不同的温度。采用双层壳体结构,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,抽真空时真空度能够达到10-3Pa。
该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源。该炉通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高所需的温度更低。
电阻炉均采用双层壳体结构,标配30 段程序控温系统,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,双层炉壳间配有风冷系统,能快速升降温。该炉具有温场均衡、表面温度低、 升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测用的理想产品。
实验室PECVD设备主要特点：
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长,如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
这款SGM TF1200-PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3 Pa,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能、等优点。
SGM TF1200 PECVD系统组件配置：
一、SGM TF1200 PECVD系统控温仪表： 采用宇电程序控温仪表。（可选配日本岛电,英国欧陆等进口品牌）
1、30段程序控温智能PID调节。（可选配50段程序仪表或液晶触摸屏仪表）
2、具有过温保护、断偶保护,过温或断偶时电炉加热电路会自动切断,（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时,主电路上的交流继电器会自动断开,主电路断开,面板上ON灯熄灭,OFF灯亮,有限的保护电炉）。
3、带有485通讯接口（选购软件时标配）
4、具有断电保护功能,即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。
5、仪表具有温度自整定的功能。
二、开门保护系统：该炉安装有行程开关,当炉盖打开时会自动切断电源,有效地保证使用者。
三、炉膛材料： 采用优质氧化铝多晶纤维材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强。
四、加热元件： 采用首钢电炉丝或瑞典康奈尔A1电阻丝加热元件, 温场均衡、使用寿命长。
五、漏电保护功能： 该炉装了漏电空气开关,当炉体漏电或电流超过额定电流时空开会自动关闭以切断电源。
六、软件控制系统（选购）：该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出。
七、控制系统：
1、电器：正泰,
2、可控硅：德国西门康106/16E,
3、 触发器：移相触发。
八、选配件：
1、50段程序控温,
2、液晶触摸屏控制器或进口温度控制器
3、炉膛尺寸可定做
4、可增加进气、排气阀门
5、炉膛材料可选进口材料
6、可选UL认证电器板
7、电器部分可选配ABB产品
8、可根据客户需求定做各种非标型号产品
实验室PECVD设备技术参数：
1、额定温度：1100℃
2、更高温度：1200℃
3、电压：220V
4、加热段：205mm+205mm
5、温控方式：智能化30段可编程控制
6、热电偶：K型
7、加热元件：瑞典Kanthal-A1电阻丝
8、升温速率：≤30℃/min 推荐升温速率：≤15℃/min
9、等离子射频电源：输出功率：50-500w更大可调±1% 稳定性
频率：13、56MHz ±0、005%
噪声：<50dB
冷却：空气冷却
输入功率：AC 220V,500W
10、真空泵和阀门：采用KF25系列波纹管和精细球阀连接
真空度可达10-3Pa
数字真空压力表可直观的显示数值
11、质量流量计：内部装有高精度数字显示质量流量训科准确的控制气体流量
气体流量范围为0-200sccm,误差：0、02%
一个气体搅拌罐上安装了液体释放阀的底部情况
不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入的数量
进气口：采用双卡套接头
双温区管式炉规格：
型号 |
SGM TF1200-1200-PE-I |
SGM TF1200-1200-PE-II |
SGM TF1200-1200-PE-III |
SGM TF1200-1200-PE-IV |
炉管尺寸 |
Φ60X1200 |
Φ80X1200 |
Φ100X1200 |
Φ150X1200 |
| 设计温度 | 1200℃ | 1200℃ | 1200℃ | 1200℃ |
功率(KW) |
3、5 |
3、5 |
3、5 |
5 |
