详细介绍
高精度气体分析仪 HiQuad™
伯东公司普发 Pfeiffer 高精度气体分析仪 HiQuad™, 可实现达 125μs / amu 的测量速度, 使用 Quadera® 软件, 操作简单.质谱分析仪模块化设计方便集成, 根据实际需要可以自由选择质量范围, 杆直径, 离子源, 探测器和界面.
Pfeiffer 质谱分析仪 HiQuad™优势
1.模块化设计灵活
2.使用 Quadera® 软件, 操作简单
3.的测量速度, 达 125μs/ amu
4.的灵敏度且动态范围宽
5.内置的互联网浏览器和 OPC 服务器用于与基于 PC 的程序进行通信
质谱分析仪 HiQuad™ 技术规格
质量数 amu |
1-128 |
1-300 |
1-512 *3) |
检测限 mbar |
5X10-16 |
2X10-15 |
1X10-15 |
Ar 灵敏度, *1) A/mbar |
1X10-3 |
2X10-4 |
5X10-4 |
操作压力 mbar |
|||
法拉第 |
1X10-4 |
1X10-4 |
1X10-4 |
SEM |
1X10-5 |
1X10-5 |
1X10-5 |
分压比 SEM ppb |
< 0.3 |
< 1 |
< 0.5 |
分析仪 |
QMA 410 |
QMA 430 |
QMA 400 |
杆系统, 材料 / 直径 mm |
Mo / 16 |
不锈钢 / 8 |
Mo / 8 |
射频发生器 (RF) |
QMH 400-1 |
QMH 400-5 |
QMH 400-5 |
静电计前置放大器 |
EP 422 |
EP 422 |
EP 422 |
工作温度 / 分析仪°C |
150 |
150 |
150 |
烘烤温度 / 分析仪 *2) °C |
400 |
400 |
400 |
连接法兰 |
DN 100 CF-F |
DN 63 CF-F |
DN 63 CF-F |
*1) 偏转单元中的法拉第,标准分辨率,带磁铁的交叉束离子源,发射 1 mA
*2) 带磁铁, 300°C
*3) 八小时内稳定性 < 0.1%, 有助于对相邻质量数 40Ar / 41
Pfeiffer 质谱分析仪 HiQuad™应用
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式
上海伯东: 叶女士 中国台湾伯东: 王女士
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F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049
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