详细介绍
介绍
产品用途：该系列电炉系周期作业,供企业实验室、大专院校、科研院所等单位选用。设备为用户提供具有真空、可控气氛及高温的实验环境,应用在半导体,纳米技术、碳纤维等新材料新工艺领域。
一、 操作便捷性：
1、气路连接方式采用了快速连接法兰结构。2、使取放物料过程简化,只需一支卡箍便可完成气路连接,方便操作。
3、取消了复杂的法兰安装过程,减少了炉管因安装造成损坏的可能。
二、结构实用性：
1、炉膛材料采用优质的多晶莫来纤维真空吸附制成,节能50%,温场均匀。电热元件采用表面温度1500℃的优质硅碳棒。2、密封法兰采用双环密封技术,有效的提高了炉管两端的气密性。气路具有进出气微量可调功能。
3、两端气路支架,支撑着气路装置。有效消除了气路总成自身的应力,杜绝了因自身应力而造成的炉管损坏。
4、*的空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到达50℃时,排温风扇将自动启动,使炉体表面快速降温。
三、使用安全性：
1、超温保护功能,当温度超过允许设定值后,自动断电及报警。
2、漏电保护功能,当炉体漏电时自动断电。以上功能确保了使用的安全性。
四、控制智能化：
1、电炉温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、模糊控制、自整定功能,并可编制各种升降温程序。2、国产程序控温系统可编辑50段程序控温,进口程序控温系统可编程40段程序控温。
3、电炉内配置有485转换接口,可实现与计算机相互连接。完成与单台或多达200台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。
五、周边拓展性：
1、真空控制系统。通过各种真空控制系统,可以实现样品在低、中、高真空环境下进行试验。2、气体流量控制系统。通过浮子或质量流量控制器调节进气量,以满足用户在不同反应气氛或保护气氛条件下的实验要求。
六、设计性：
该设备为产品,具有多项独立自主的知识产权。外观美观,结构合理,使用方便。产品用途：该系列电炉系周期作业,供企业实验室、大专院校、科研院所等单位选用。设备为用户提供具有真空、可控气氛及高温的实验环境,应用在半导体,纳米技术、碳纤维等新材料新工艺领域。
技术参数：
| 国产程序 | SK-G06143-L | SK-G08143-L |
| 温区 | 单温区 | |
| 温度 | 1400℃ | |
| 加热区长度 | 260mm | |
| 恒温区长度 | 120mm | |
| 加热元件 | 硅碳棒 | |
| 空炉升温时间 | <30min | |
| 额定功率 | 5Kw | |
| 工作电压 | 220V | |
| 温度控制 | 国产程序控温系统可编辑50段程序控温；进口程序控温系统可编辑40段程序控温； | |
| 控温精度 | ±1℃ | |
| 刚玉管尺寸 | Φ60/53x1000mm | Φ80/70x1000mm |
| 炉管材料 | 刚玉管 | |
| 炉管工作温度 | 1300℃ | |
| 配置炉管时升温速度 | 500℃以下≤5℃/min!500-800℃≤10℃/min!800-1000℃≤5℃/min!1000-1200℃≤3℃/min;1200-1400℃≤2℃/min | |
| 标准配置 | 气路总成一套 (含真空压力表)、刚玉管一支、钩子一把、高温手套一副 | |
| 真空/气氛总成配套(可选) | 真空控制系统: 中真空控制系统、高真空控制系统、真空测量系统； | |
| 气路控制系统：气体浮子流量控制系统、气体质量流量控制系统； | ||
| 计算机集散控制系统； CVD电炉系统； | ||
