详细介绍
1400℃真空气氛管式电炉气体流量控制系统。通过浮子或质量流量控制器调节进气量,以满足用户在不同反应气氛或保护气氛条件下的实验要求。
1、1400℃真空气氛管式电炉炉膛材料采用优质的多晶莫来纤维真空吸附制成,节能50%,温场均匀。电热元件采用表面温度1500度的优质硅碳棒。
2、1400℃真空气氛管式电炉密封法兰采用双环密封技术,有效的提高了炉管两端的气密性。气路具有进出气微量可调功能。
3、1400℃真空气氛管式电炉两端气路支架,支撑着气路装置。有效消除了气路总成自身的应力,杜绝了因自身应力而造成的炉管损坏。
4、1400℃真空气氛管式电炉*的空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到达50℃时,排温风扇将自动启动,使炉体表面快速降温。
国产程序 |
SK-G04143 |
SK-G05145 |
SK-G06143 |
SK-G08143 |
进口程序 |
SK-G04145 |
SK-G05145 |
SK-G06145 |
SK-G08145 |
温区 |
单温区 |
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温度 |
1400℃ |
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加热区长度 |
200mm |
400mm |
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恒温区长度 |
70mm |
140mm |
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加热元件 |
硅碳棒 |
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空炉升温时间 |
<30min |
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额定功率 |
2.5Kw |
5Kw |
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额定电压 |
220V |
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温度控制 |
国产程序控温系统可编辑50段程序控制;进口程序控温系统可编辑40段程序控制; |
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控温精度 |
±1℃ |
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石英管尺寸(mm) |
Φ40/34x1000 |
Φ50/44x1000 |
Φ60/50x1000 |
Φ80/70x1000 |
炉管材料 |
刚玉管 |
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炉管工作温度 |
<1300℃ |
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配置炉管时升温速度 |
500℃以下≤5℃/min!500-800℃≤10℃/min!800-1000℃≤5℃/min!1000-1200℃≤3℃/min;1200-1400℃≤2℃/min |
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外形尺寸(深x宽x高) |
315x440x539mm |
400x614x653mm |
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重量 |
60Kg |
85Kg |
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标准配置 |
气路总成一套(含真空压力表),刚玉管一支,刚玉堵塞两个,钩子一把,高温手套一副 |
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真空/气氛总成配套(可选) |
真空控制系统:中真空控制系统、高真空控制系统、真空测量系统; |
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气路控制系统:气体浮子流量控制系统、气体质量流量控制系统; |
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计算机集散控制系统;CVD电炉系统; |