8英寸三温区旋转CVD管式炉系统-OTF-1250X-R8-III

名称

8英寸三温区旋转CVD管式炉系统-OTF-1250X-R8-III

管式炉结构

开启式管式炉设计方便进行炉管的更换和维修。

加热元件选用Sic棒。

三温区加热,总加热长度1170mm。

炉膛材料选择高纯氧化铝纤维,可以极大程度降低能耗。

炉管由直流电机驱动进行旋转。

旅馆旋转速度：0-10rpm。

炉管可倾斜角度：0-15°可调。

工作电压：AC 208-240V,三相（需一50A空气开关）。

功率：30KW。

产量：每批25Kg。

加热区以及恒温区

三个加热区,每个加热区长度为380mm。

总加热区长度：1170mm。

两个氧化铝管堵与法兰连接置于炉管两端随炉体移动,防止热量以热辐射的形式损失。

可选管材与其工作温度

两种管材可选进行订购：

高纯石英管,工作温度：1200℃

石英管尺寸：8.5"OD×8.1"ID×63"L

内部焊接有扬料板,使粉体烧结更加充分和均匀

NiCrA1合金管,工作温度：1250℃

合金管尺寸：8"OD×7"ID×63"L

密封法兰（可选）

炉管包含一套密封法兰,标准配置如下：

采用铰链式法兰（方便进行装卸料）。

机械压力表（范围-0.1MPa~0.15MPa）。

不锈钢针阀&1/4"软管接头,KF25真空接头以及1/4"接头。

旋转接头：采用动密封旋转接头,进气口φ6mm,所有配件都为可旋转配件。

真空度：10-2torr（用机械泵）。

注意：由于石英管和合金管外径不同,故两管法兰不能互换使用。

温度控制

采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序。

具有超温及断偶报警功能。

通信端口：RS485.

可安装PC控制软件对数据进行实时采集（需另购）

工作温度

连续工作温度：

石英管：400~1100℃

NiCrA1合金管：400~1250℃

加热/冷却速度：10℃/min

温度精度：恒温区±1℃

质保期

一年质保期,终生维护（不包括炉管、加热元件和密封圈）

质量认证

CE认证

所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA认证

若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

产品参数

产品重量：900Kg

产品尺寸：1600 L×800 W×1900 H mm

可选配件

微量氧分析仪（0-1000ppm）

注意：氧分析仪需安装在一侧法兰处并且保持气体流动进行测试分析

警告

炉管内气压不可高于0.02MPa。

由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司购买减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa使用时会更加精确安全。

当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态。炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态。

进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。

石英管的长时间使用温度<1100℃。

对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热的实验,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生（如炉管破裂,法兰飞出等）。

应用注意事项

通过容积式给料器、法兰处采用磁流体密封旋转接头可实现连续喂料。

采用该设备做CVD实验时,可选购本公司的多路混气系统进行气体精确配比及流量控制。

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