真空干燥机的抽真空系统由真空泵以及他的附属的设备，真空泵可以是机械真空泵，也可以是蒸汽喷射泵。在用机械真空泵作为真空干燥机的真空泵时，为了能够达到密度比较高的真空度，一般是采用真空泵组的，与此同时为了防止外界进入的气体中带有的水分进入到真空泵内，在真空泵与其他设备之间会装有一个蒸汽冷凝器和气水分离器。

真空干燥机的加热系统会根据热载体的不同从而改变。热载体可以是饱和的蒸汽以及过饱和的蒸汽等物料。一般我们采用的是饱和的蒸汽作为用于在真空干燥机进行脱水干燥处理中的热载体，因为饱和的蒸汽的内部结构比较简单，不需要别的附属装置来进行处理。

真空干燥机干燥的质量比较高，可以在温度比较低的干燥条件下进行脱水干燥处理，并且适合对易氧化或者热敏行的物料进行脱水干燥处理。