刘美莹
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洁净工作台检测 |
洁净工作台检测项目有:外观、功能、扫描检漏、引射作用、截面风速、进风风速、非单向流洁净工作台风量、空气洁净度、噪声、照度、振动幅值、操作空间气流状态。 |
执行标准:JG/T 292-2010《洁净工作台》 |
判定标准:YY/T 1539-2017《洁净工作台》 |
现场检测时间: |
洁净工作台检测所使用的仪器 |
检测仪器必须经过检定并校正合格, 并在其规定的有效期内使用。仪器清单如下: 1、尘埃粒子计数器(粒径分辨率由0.3µm或0.1µm起 始),取 样 流量为2.83L/ min、 28.3 L/ min或更大流量; 2、热 球 式风速仪或风量测试仪,仪器测量误差在满量程的士3%之内; 3、声级计 ,测量范围宜为40 dB(A)-100 dB(A); 4、照度计,测量范围为0 lx-1 000 lx; 5、振动仪,最小灵敏度达到2.5µm振幅有效值; 6、气溶胶发生器。 多分散发生气溶胶,可发生PSL、DEHS等气溶胶,发生浓度可调,一般应大于104粒/ L;多分散DOP气溶胶(冷发烟)发生器,其浓度通常达80µg/ L- 100µg/ L; 7、光度计,对DOP气溶胶(冷发烟)浓度的测量范围为0.001µg/ L- 100µg/ L。 |
YY0569-2011 |
|||||
序号 |
参数名称 |
技术要求 |
单位 |
性能参数 |
|
1 |
扫描检漏a |
大气尘或人工尘,下游粒子浓度 |
粒/ L |
≤3 |
|
DOP法检漏,穿透率 |
% |
≤0.01 |
|||
2 |
引射作用. |
大气尘或人工尘,下游粒子浓度(O.5µm) |
粒/ L |
≤10 |
|
DOP法检漏 ,穿透率 |
% |
≤0.01 |
|||
3 |
风速 |
平均风速 |
单向流洁净工作台操作区平均风速 |
m/s |
0.2-0.5 |
不均匀度 |
风速的相对标准偏差 |
% |
≤20 |
||
4 |
进风风速 |
进风口设在洁净工作台操作人员腿部的进风口平均风速 |
m/s |
≤1 |
|
5 |
风量 |
非单向流洁净工作台的换气次数 |
h-1 |
60-120 |
|
非单向流洁净工作台额定风量的波动范围 |
% |
士20 |
|||
6 |
空气洁净度 |
操作区的空气洁净度级别 |
级 |
洁净度5级( HEPA) ; 优于洁净度5级(ULP A) |
|
7 |
沉降菌浓度 |
操作区台面平均菌落数(只对用于生物洁净用途的工作台有此要求) |
cfu/ (皿0.5 h) |
≤0.5 |
|
8 |
噪声 |
前壁板水平中心向外300 mm,且高于地面1.1m处的整机噪声 |
dB |
≤65 |
|
9 |
照度 |
操作区台面上的平均照度(无背景照明) |
lx |
≥300 |
|
10 |
振动幅值 |
操作区台面几何中心的垂直净振幅 |
µm |
≤5 |
|
11 |
气流状态 |
操作空间垂直气流试验(垂直单向流洁净工作台) |
气流流线应垂直于台面或出风面,不得有死角和回流 |
||
操作空间水平气流试验(水平单向流洁净工作台) |
气流流线应平行千台面或出风面,不得有死角和回流 |
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