刘美莹
销售工程师
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| 产地 | 国产 | 产品新旧 | 全新 |
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洁净室检测-电子厂尘埃粒子测试GB50472-2008 电子厂房设计规范同GB50073-2013洁净厂房设计规范洁净度的测试方法一致
洁净室检测-电子厂尘埃粒子测试洁净度的检测,应符合下列规定：
1、应使用采样量大于1L／min光学粒子计数器（激光尘埃粒子计数器）,应根据粒径鉴别能力、粒子浓度适用范围和计数效率等要求选用仪器。仪器应有有效的标定合格证书。
2、最少采样点应按下式计算：
NL＝√A
式中NL——最少采样点；
A——洁净室或被控洁净区的面积(㎡)。
3、采样点应均匀分布于洁净室(区)的整个面积内,并应位于工作区的高度,活动高度宜距离地面0.8m;每个采样点的最小采样时间为1min.
4、每一采样点的每次采样量应至少为2L,采样量应按下式计算：
Vs={20/ Cn.m}×1000
式中：Vs——每个采样点的每次采样量,以L表示；当Vs很大时,可使用顺序采样法；
Cn.m——被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值(pc/m3)；
20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时,可测到的粒子颗数(pc)。
5 、当洁净室或洁净区仅有一个采样点时,则在该点应至少采样3次。
洁净室检测-电子厂洁净度尘埃粒子测试 判定参考表格
GB50073-2013洁净厂房设计规范 |
|||||||
空气洁净等级（N） |
最高浓度极限（颗粒数/m3） |
近似对应传统规格 |
|||||
0.1μm |
0.2μm |
0.3μm |
0.5μm |
1.0μm |
5.0μm |
||
1 |
10b |
2 |
|||||
2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
|||
3 |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
1 |
|
4 |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
10 |
|
5 |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
100 |
6 |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
1,000 |
7 |
352,000 |
83,200 |
2,930 |
10,000 |
|||
8 |
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
100,000 |
|||
9 |
35,200,000 |
8,320,000 |
293,000 |
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