无尘无氧烘箱

无尘无氧烘箱

一、产品用途：

无尘无氧烘箱主要应用于半导体晶圆片光刻涂胶镀膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂胶后的软烘焙Soft baking),曝光、显影后的坚膜硬烘（Hard baking)等工艺,本设备适用半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料的洁净、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、医药、光学镀膜、精密元件干燥等生产工艺以及研发机构.

二、性能特点：

1、箱体内胆采用优质SUS304#镜面不锈钢材质,满焊接后经无尘化处理,表面洁净,自身不产尘。
2、设备内置进口耐高温高效过滤器,结合设计的热风循环风道,安全可靠的加热控制系统,配合充氮控制系统,确保工作室内达到class100无尘无氧的洁净防氧化环境。干燥箱全部采用不锈钢材料,完善的控制系统,使得工作室的温度更加均匀。
3、气体系统：采用进口耐高温高效无框过滤器H.E.P.A,过滤效率 99.997% @0.3UM,
选配：氧含量分析仪,记录数据。6点温度记录仪
4、温控系统：采用宇电触摸屏PID自动演算,温度精准度±0.1℃,120组*100段程序,温度曲线,超温抑制,传感器断线保护,选配RS485通讯端口。水冷系统。
5、无氧控制：配置氧含量分析仪（选配）双流量计节氮系统,双延时充氮控制,无氧、低氧环境下节省氮气消耗量。