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详细介绍
*产品信息仅供参考,型号和技术参数生产厂家有可能随时更改
规格：
型号 |
RA-H5200AS |
RA-H5200AH |
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旋转工作台 |
旋转精度(JIS B 7451-1997) |
径向 |
(0.02+3.5H/10000)μm H:为测量高度(mm) |
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轴向 |
(0.02+3.5X/10000)μm X:到旋转工作台轴的距离(mm) |
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旋转速度 |
2, 4, 6, 10rpm (自动定心: 20rpm) |
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工作台有效直径 |
Φ300mm |
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调心范围 |
±5mm |
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调水平范围 |
±1° |
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台面承重 |
小于80kg (自动定心: 65kg) |
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测量直径 |
小于Φ400mm |
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工件直径 |
小于Φ680mm |
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垂直移动 |
移动直线度(λc2.5) |
窄范围 |
0.05μm/100mm |
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宽范围 |
0.14μm/350mm |
0.2μm/550mm |
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与转台轴平行度(母线要素基准) |
0.2μm/350mm |
0.32μm/550mm |
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水平移动(从工作台上部) |
350mm |
550mm |
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定位速度 |
小于60mm/s (测量时: 0.5, 1, 2, 5mm/s) |
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检测高度 |
350mm |
550mm |
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检测深度(使用标准测头) |
Φ32×85mm (深度) |
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Φ7×50mm (深度) |
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X轴 |
直线度(λc2.5) |
0.4μm/200mm |
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与转台轴垂直度(母线要素基准) |
0.5μm/200mm |
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移动范围 |
225mm (–25mm ~ +200mm从旋转中心) |
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定位速度 |
小于50mm/s (测量时: 0.5, 1, 2, 5mm/s) |
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检出器 |
测力 |
约10 - 50mN, 1 - 5级 |
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标准测杆,材质 |
Φ1.6mm硬质合金 |
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范围 |
标准 |
±400μm/±40μm/±4μm |
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追踪 |
±5mm |
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其他 |
带IN/OUT切换功能、测力切换功能(5级切换)、测杆角度指示 |
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(±45o),Z轴方向冲击探测功能、带滑动式检出器(3姿势规格) |
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其他 |
气压 |
0.39MPa |
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空气消耗量(标准状态) |
45L/min (120L/min以上气源) |
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重量 |
测量主体 |
650kg |
670kg |
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防震台架 |
170kg |
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