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SII 单离子注入机
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2021-07-20 20:21:28
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SII德国Nanoanalytik(ParcanNano)纳米级精准定位的单离子注入机,基于新型扫描针尖精准定位的离子注入系统,实现有效控制注入半导体器件的杂质种类、数量和位置。可用于基于电离杂质诱导的量子点所构建的量子信息领
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