2021-07-16 21:00:08
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日本JEOLJBX-6300FS电子束光刻系统,在100kV的加速电压下能自动调整直径为（计算值）2.1nm的电子束,简便地描画出线宽在8nm以下（实际可达5nm）的图形。此外,该光刻系统还实现了9nm以下的场拼接精度和套刻精度,性
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