2024-07-23 12:09:16
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双层风扇散热装置主要特点贝意克公司研制的PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均
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