用途:DIC95微分干涉显微镜,可选配微分干涉物镜,光源可选LED和光纤冷光源,物镜上方的DIC棱镜可作水平和上下微调,两个方向的线偏振光分合所形成的浮雕图像,适合于芯片封装后的品检很微小的突起,细微划痕的观察,测量.
物镜规格：
f=200mm用全平场复消色差物镜/MPlan APO |
||||||
物镜数据 |
||||||
倍率 |
2X |
5X |
10X |
20X |
50X |
100X |
NA |
0.055 |
0.14 |
0.28 |
0.42 |
0.55 |
0.55 |
W.D(mm) |
34 |
34 |
33.5 |
20 |
13 |
13 |
焦点距离(mm) |
100 |
40 |
20 |
10 |
4 |
2 |
分解率(µm) |
5 |
2 |
1 |
0.7 |
0.5 |
0.5 |
焦深(µm) |
91 |
14 |
3.58 |
1.6 |
0.9 |
0.9 |
宽视野2/3"sensor(mm) |
4.4 *3.3 |
1.76*1.32 |
0.88*0.66 |
0.44* 0.33 |
0.176*0.132 |
0.088*0.066 |
宽视野1/2sensor(mm) |
3.2 * 2.4 |
1.28*0.96 |
0.64* 0.48 |
0.32*0.24 |
0.128*0.096 |
0.064 *0.048 |
采购中心
