● 最小增量步距: 0.035微弧度( 0.007弧秒)
● 重复性: < 0.4微弧度( < 0.08弧秒)
● 轴向运动误差: < 50纳米同步!< 10纳米异步
● 径向运动误差: < 75纳米同步!< 10纳米异步
空气轴承旋转主轴
ABRT-400是Aerotech的μARC角度和旋转装置校准系统的核心。ABRT-400是一个大的具备纳米级误差运动性能的旋转空气轴承主轴。这种高精度空气轴承主轴是用钢紧密配合μARC周围的花岗岩结构的CTE建造的。空气轴承配备有不影响旋转的接头和滑环以通过真空或空气,并且实现电气连接到被测装置。
ABRT-400可以用作高精度测量设备的标准角度标定,X射线衍射,蛋白质结晶或高精度加工应用。