DRYVAC是莱宝公司干式压缩螺杆真空泵品种中的一个新的系列,它根据具体应用可提供各种功能。莱宝DRYVAC系列在开发时考虑了光电行业、平板显示和加工工业市场的特殊要求。所有DRYVAC泵型都采用水冷,非常紧凑的外形并且易于与系统组合,尤其是与业经考验的莱宝RUVAC WH(U)、WS(U)和WA(U)系列罗茨泵实现组合。
莱宝DRYVAC螺杆原理的优点
由于气体在螺杆泵内的气路短而简单,因此螺杆真空泵对所抽异物相当不敏感。这确保了在工业应用条件下更长的系统正常运行时间。
从泵入口到其排气口之间直而短的气路缩短了气体停留时间,因此减少了泵内潜在沉积物。通过采用吹扫气(例如气镇),可有效除去沉积物、颗粒和冷凝液。
与莱宝螺杆真空泵SP系列一样,DRYVAC的开发也是用于高要求的应用。此外DRYVAC的应用范围更是扩展到光电和平板显示的生产工艺。
适合应用特点的DRYVAC版本说明
莱宝DRYVAC DV和DV S对100mbar至大气压段的抽速进行了优化。因此DV和DVS型适合快速抽空应用(如进样室),或大腔室抽空。
莱宝DRYVAC DV C型在恶劣用途可以提供更高可靠性,其优化的性能适合光电和平板显示生产工艺常用的工艺气体。莱宝DRYVAC DV C型对氢气具有高抽速,并且由于集成了吹扫气系统,对于粉尘不敏感。
莱宝DRYVAC的主要特点:设计紧凑、易于布置成水平流的泵组。莱宝DV650比市场上同级别产品的功耗低30%。
莱宝DRYVAC平台的所有版本可提供不同类型的配置:对于DRYVAC -r,泵的变频器外置,可集成于外部电气柜内;对于其他泵型,变频器集成在泵上。DRYVAC-i型配置了带有触屏显示器和软件用户界面的PLC,使得操作和配置更加简单。S-i型标配Profibus或24V I/O接口(可根据要求提供其他接口)与系统对接。另外,S-i型安置在有脚轮、高度可调地脚和Harting插座/插头的完整外壳内。
DRYVAC DV450和DV650是单台螺杆泵,DV1200则配备了两个并联运行的螺杆泵。
DRYVAC DVR5000 C-i是DRYVAC -i的特殊版本。该工艺泵由DRYVAC DV650 C螺杆泵和RUVAC WH 2500罗茨泵组成,整体进行了集成控制。与螺杆泵一样,WH 2500也是由变频器操纵和控制(Max.100Hz)。泵组对氮气的有效抽速约为3800立方米/小时。
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