TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT
W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)
典型应用
- 半导体工业,诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺
- 进样室,转移室
- 粒子加速器
- 科研
- 镀膜系统
技术特点
- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统
- 轴承系统的数字监控
- 噪声和振动低
- 任意方向安装
- 的转子设计,实现高抽速和高前级耐压
- 智能电源控制系统
- CT版集成温度管理系统（TMS）
- C版耐腐蚀
客户得益
- 免维护
- 所有工艺气体都有高气载量
- 极限低,抽速高
- 前级耐压高
- 同类中重量较轻,尺寸较小
- 耐粉尘
- 温控达 90 °C (194 °F),避免沉积物
（CT版）
- 高耐腐蚀性-CT版
- 气体吹扫系统
更多信息请联系莱宝：安博元科技info
技术特点
- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统
- 轴承系统的数字监控
- 噪声和振动低
- 任意方向安装
- 的转子设计,实现高抽速和高前级耐压
- 智能电源控制系统
- CT版集成温度管理系统（TMS）
- C版耐腐蚀
客户得益
- 免维护
- 所有工艺气体都有高气载量
- 极限低,抽速高
- 前级耐压高
- 同类中重量轻,尺寸小
- 耐粉尘
- 温控达 90 °C (194 °F),避免沉积物
（CT版）
- 高耐腐蚀性-CT版
- 气体吹扫系统
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典型应用
- 半导体工业,诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺
- 进样室,转移室
- 粒子加速器
- 科研
- 镀膜系统
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技术参数 |
TURBOVAC MAG |
||||||
W 2200 C/CT |
W 2200 |
||||||
进气口 |
DN |
200 ISO-F |
250 ISO-F |
250 CF |
|||
PNEUROP的抽速氮气 氩气 氦气 氢气 |
I x s-1I x s-1I x s-1I x s-1 |
||||||
额定转速 |
min-1 |
29 400 |
29 400 |
29 400 |
|||
压缩比氮气 |
> 1 x 108 |
> 1 x 108 |
1 x 108 |
||||
极限压强,根据DIN 28 400 |
mbar (Torr) |
< 10-8(< 0 75 x 10-8) |
< 10-8(< 0 75 x 10-8) |
< 1 x 10-10(< 0 75 x 10-10) |
|||
前级耐压（对氮气）对流冷却时 水冷却时 |
mbar (Torr)mbar (Torr) |
–2 (1 5) |
–2 (1 5) |
0 1 (0 075) 1 (0 75) |
|||
推荐的前级泵抽速达100m3/h的旋片泵或干泵 |
TRIVAC D 65 BCS |
TRIVAC D 65 BCS |
TRIVAC D 65 BCS |
||||
启动时间达95%名义转度时 |
min |
< 8 |
< 8 |
< 8 |
|||
出气口外形尺寸 |
DN |
40 ISO-KF |
40 ISO-KF |
40 ISO-KF |
|||
吹扫和破空口 |
1/4" VCR |
1/4" VCR |
DN 10/16 |
||||
冷却水接口（管道外径） |
1/2" |
1/2" |
Swagelok管1/4" |
||||
重量（近似） |
kg (lbs) |
48 (106) |
48 (106) |
60 (132) |
|||
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