TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT
W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)
典型应用
- 半导体工业,诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺
- 进样室,转移室
- 粒子加速器
- 科研
- 镀膜系统
技术特点
- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统
- 轴承系统的数字监控
- 噪声和振动低
- 任意方向安装
- 的转子设计,实现高抽速和高前级耐压
- 智能电源控制系统
- CT版集成温度管理系统（TMS）
- C版耐腐蚀
客户得益
- 免维护
- 所有工艺气体都有高气载量
- 极限低,抽速高
- 前级耐压高
- 同类中重量较轻,尺寸较小
- 耐粉尘
- 温控达 90 °C (194 °F),避免沉积物
（CT版）
- 高耐腐蚀性-CT版
- 气体吹扫系统
更多信息请联系莱宝：安博元科技info
技术特点
- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统
- 轴承系统的数字监控
- 噪声和振动低
- 任意方向安装
- 的转子设计,实现高抽速和高前级耐压
- 智能电源控制系统
- CT版集成温度管理系统（TMS）
- C版耐腐蚀
客户得益
- 免维护
- 所有工艺气体都有高气载量
- 极限低,抽速高
- 前级耐压高
- 同类中重量轻,尺寸小
- 耐粉尘
- 温控达 90 °C (194 °F),避免沉积物
（CT版）
- 高耐腐蚀性-CT版
- 气体吹扫系统
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典型应用
- 半导体工业,诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺
- 进样室,转移室
- 粒子加速器
- 科研
- 镀膜系统
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技术参数 |
TURBOVAC MAG |
|||||||
W 2800 C |
W 2800 CT W 2800 |
W 3200 CT |
||||||
进气口 |
DN |
250 ISO-F |
250 ISO-F |
250 CF |
320 ISO-F |
|||
PNEUROP的抽速 |
||||||||
氮气 |
I x s-1 |
2650 |
2650 |
2650 |
3200 |
|||
氩气 |
I x s-1 |
2450 |
2450 |
2450 |
3000 |
|||
氦气 |
I x s-1 |
2650 |
2650 |
2650 |
3000 |
|||
氢气 |
I x s-1 |
2100 |
2100 |
2100 |
2250 |
|||
额定转速 |
min-1 |
28 800 |
28 800 |
28 800 |
28 800 |
|||
压缩比 |
||||||||
氮气 |
1 x 108 |
1 x 108 |
1 x 109 |
1 x 108 |
||||
极限压强,根据DIN 28 400 |
mbar |
< 10-8 |
< 10-8 |
< 1 x 10-10 |
< 10-8 |
|||
(Torr) |
(< 0 75 x 10-8) |
(< 0 75 x 10-8) |
(< 0 75 x 10-10) |
(< 0 75 x 10-8) |
||||
前级耐压（对氮气）对流冷却时 水冷却时 |
mbar (Torr)mbar (Torr) |
–2 0 (1 5) |
–2 0 (1 5) |
0 3 (0 23) 3 0 (2 3) |
–2 0 (1 5) |
|||
推荐的前级泵 |
||||||||
抽速达100 m3/h的旋片泵或干泵 |
TRIVAC D 65 BCS |
TRIVAC D 65 BCS |
TRIVAC D 65 BCS |
TRIVAC D 65 BCS |
||||
启动时间 |
min |
< 10 |
< 10 |
< 10 |
< 10 |
|||
出气口外形尺寸 |
DN |
40 ISO-KF |
40 ISO-KF |
40 ISO-KF |
40 ISO-KF |
|||
吹扫和破空口 |
1/4" VCR |
1/4" VCR |
DN 10/16 |
1/4" VCR |
||||
冷却水接口 |
Swagelok tube |
1/4" |
1/4" |
1/4" |
1/4" |
|||
重量（近似） |
kg (lbs) |
64 (141 3) |
64 (141 3) |
75 (165 6) |
65 (143 5) |
|||
更多信息请联系莱宝：安博元科技info
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