典型应用
- PVD镀膜系统
- 建筑玻璃镀膜
- 光学镀膜
- 液晶显示器
- 平板显示
- 科研
- 分析领域
技术特点
- 任意方向安装
- DN 200和/或250 ,在ISO-F和/或CF
高真空接口
- DN 40 KF前级真空接口
- 保护气/破空接口DN 16 KF（卡簧
式）
MAG INTEGRA 系列产品
MAG INTEGRA – 集成磁悬浮复合分子泵
- 水冷
- CE和RoHS认证：满足UL要求
- 防护等级IP 54
- 两个工业通信模块卡接口
- RS 232,维护接口
- 可以安装其它接口：Profibus、RS
485 C,9针24 V SPS
客户得益
- 抽速和气载量较高
- 可靠、耐用
- 免维护
- 适合用于分析、薄膜技术、电子显
微镜、科研领域等对振动敏感的应
用场合
- 由于采用模块化设计具有灵活性,
变频器可以安装在一侧或下面
更多信息请联系莱宝：安博元科技info
技术特点
- 任意方向安装
- DN 200和/或250 ,在ISO-F和/或CF
高真空接口
- DN 40 KF前级真空接口
- 保护气/破空接口DN 16 KF（卡簧
式）
MAG INTEGRA 系列产品
MAG INTEGRA – 集成磁悬浮复合分子泵
- 水冷
- CE和RoHS认证：满足UL要求
- 防护等级IP 54
- 两个工业通信模块卡接口
- RS 232,维护接口
- 可以安装其它接口：Profibus、RS
485 C,9针24 V SPS
客户得益
- 抽速和气载量高
- 可靠、耐用
- 免维护
- 适合用于分析、薄膜技术、电子显
微镜、科研领域等对振动敏感的应
用场合
- 由于采用模块化设计具有灵活性,
变频器可以安装在一侧或下面
更多信息请联系莱宝：安博元科技info
典型应用
- PVD镀膜系统
- 建筑玻璃镀膜
- 光学镀膜
- 液晶显示器
- 平板显示
- 科研
- 分析领域
更多信息请联系莱宝：安博元科技info
技术参数TURBOVAC MAG INTEGRA W
1300 iP(L) 1600/1601 iP(L)
进气口法兰 |
DN |
200 ISO-F |
250 ISO-F |
||
200 CF |
|||||
抽速 |
|||||
氮气 |
I x s-1 |
1100 |
1600 |
||
氩气 |
I x s-1 |
1050 |
1470 |
||
氦气 |
I x s-1 |
1220 |
1770/1700 |
||
氢气 |
I x s-1 |
1130 |
1570/1500 |
||
转速 |
min-1 |
37 800 |
33 000 |
||
可调待机转速 |
min-1 |
13 800 (230 Hz) |
13 800 (230 Hz) |
||
压缩比 |
|||||
氮气 |
> 108 |
> 107 |
|||
氩气 |
> 108 |
> 107 |
|||
氢气,1 sccm时 |
2 0 x 105 |
6 x 104/3 x 103 |
|||
氦气,1 sccm时 |
8 0 x 103 |
1 0 x 103/5 x 102 |
|||
气载量 |
|||||
氮气,短暂,例如抽出中 |
|||||
mbar x I x s-1 |
30 |
60 |
|||
氮气,连续使用 |
|||||
mbar x I x s-1 |
20 |
30/40 |
|||
氩气,短暂,例如抽出中 |
|||||
mbar x I x s-1 |
20 |
30 |
|||
氩气,连续使用 |
|||||
mbar x I x s-1 |
15 |
20/25 |
|||
极限压强 |
|||||
ISO-F法兰 |
mbar |
< 10-8 |
< 10-8 |
||
CF法兰 |
mbar |
< 10-10 |
– |
||
高除气温度 |
°C |
80 |
80 |
||
前级耐压 |
|||||
氮气 |
mbar |
4 |
1 |
||
氩气 |
mbar |
0 6 |
1 |
||
推荐的前级泵 |
TRIVAC B或干泵 |
||||
加速时间 |
min |
< 5 |
< 7 |
||
前级管道法兰 |
DN |
40 KF |
40 KF |
||
吹扫/破空端口(夹链式) |
DN |
16 KF |
16 KF |
||
水冷接口尺寸 |
G |
1/8" |
1/8" |
||
重量 |
kg |
40 |
45 |
||
执行ISO 3744标准的噪声级 |
dB(A) |
< 41 |
< 41 |
||
速度时高真空法兰处的振动值 |
μm |
0 01 |
0 01 |
||
更多信息请联系莱宝：安博元科技info
更多信息请联系莱宝：安博元科技info
采购中心
