TURBOVAC MAG 磁悬浮分子泵
TURBOVAC MAG系列
TURBOVAC MAG系列耐腐蚀磁悬浮分子泵,适用于从10-1 mbar(0.75 x 10-1Torr)至10-10 mbar(0.75 x 10-10 Torr)的压强范围。对空气的抽速从300 l x s-1(进气口法兰直径 = 100mm(3.94in.))至3200 l x s-1(进气口法兰直径 = 320mm(12.6in.))不等。
TURBOVAC MAG泵较常用于半导体工业,例如蚀刻、CVD、PVD和离子注入,也就是需要抽除腐蚀性气体的应用条件。
TURBOVAC MAGiNTEGRA系列
TURBOVAC MAGiNTEGRA系列磁悬浮分子泵是集现代真空科技之大成的新产品！
它设计精良,性能优异,可靠耐用是高真空应用的睿智选择。新的主动定位五轴磁悬浮技术与莱宝真空专有抗冲击设计相结合, 保证了TURBOVAC MAGiNTEGRA系列分子泵既保持了磁悬浮分子泵无磨损的优势又延续了莱宝分子泵耐冲击的一贯特性。
TURBOVAC MAGiNTEGRA系列分子泵适合短节拍大气载的应用,可帮助客户缩短工艺节拍,提高工作效率。非常适合电子显微镜,玻璃镀膜、工业和科研等应用。
TURBOVAC MAC产品线的优势是：
- 无碳氢化合物,可以实现清洁的高真空和超高真空条件；
- 任何安装方向都具有高性能
- 运行高度可靠
- 振动极低
- 防腐蚀版可以抽除腐蚀性气体
- 免维护
典型应用
- 气体分析系统
- 粒子加速器
- 电子显微镜
- 科研
- 镀膜设备
技术特点
- 任意方向安装
- ISO-K或CF高真空接口
- DN 16 ISO-KF,带卡簧式前级真空接口
- 保护气/破空接口DN 16 ISO-KF（卡簧式接口）
- 可选择水冷或风冷
- CE和RoHS认证：满足UL要求
- 标准9针24 V SPS,PLC接口
- RS 232 C,维护接口
- 可以安装其它接口:Profibus, RS 485 C
客户得益
- 尺寸可能较小,抽速较高
- 免维护
- 适合用于分析仪器、薄膜技术、电子显微镜、科研领域对振动敏感的应用场合
- 由于采用模块化设计具有灵活性；也可以提供台式变频器
- 两个工业通信模块卡接口
更多信息请联系莱宝：安博元科技info
TURBOVAC MAC产品线的优势是：
- 无碳氢化合物,可以实现清洁的高真空和超高真空条件；
- 任何安装方向都具有高性能
- 运行高度可靠
- 振动极低
- 防腐蚀版可以抽除腐蚀性气体
- 免维护
技术特点
- 任意方向安装
- ISO-K或CF高真空接口
- DN 16 ISO-KF,带卡簧式前级真空接口
- 保护气/破空接口DN 16 ISO-KF（卡簧式接口）
- 可选择水冷或风冷
- CE和RoHS认证：满足UL要求
- 标准9针24 V SPS,PLC接口
- RS 232 C,维护接口
- 可以安装其它接口:Profibus, RS 485 C
客户得益
- 尺寸可能较小,抽速较高
- 免维护
- 适合用于分析仪器、薄膜技术、电子显微镜、科研领域对振动敏感的应用场合
- 由于采用模块化设计具有灵活性；也可以提供台式变频器
- 两个工业通信模块卡接口
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典型应用
- 气体分析系统
- 粒子加速器
- 电子显微镜
- 科研
- 镀膜设备
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技术参数 |
TURBOVAC MAG |
|||||||
W 300 iP |
W 400 iP |
|||||||
进气口法兰 |
DN |
100 ISO-K |
100 CF |
160 ISO-K |
160 CF |
|||
抽速氮气 氩气 氦气 氢气 |
I x s-1I x s-1I x s-1I x s-1 |
300 260 260 190 |
300 260 260 190 |
365 330 280 200 |
365 330 280 200 |
|||
转速 |
min-1 |
58 800 |
58 800 |
58 800 |
58 800 |
|||
压缩比氮气氢气氦气 |
1 0 x 10103 2 x 1039 2 x 104 |
1 0 x 10103 2 x 1039 2 x 104 |
1 0 x 10103 2 x 1039 2 x 104 |
1 0 x 10103 2 x 1039 2 x 104 |
||||
极限压强 |
mbar (Torr) |
< 10-8(< 0 75 x 10-8) |
< 10-10(< 0 75 x 10-10) |
< 10-8(< 0 75 x 10-8) |
< 10-10(< 0 75 x 10-10) |
|||
高除气温度 |
°C (°F) |
– |
80 (176) |
– |
80 (176) |
|||
前级耐压,对于氮气 |
mbar (Torr) |
8 (6) |
8 (6) |
8 (6) |
8 (6) |
|||
推荐的前级泵 |
TRIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B |
TRIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B |
TRIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B |
T |
RIVAC D 2,5 E TRIVAC D 8 B |
|||
加速时间 |
min |
< 5 |
< 5 |
< 5 |
< 5 |
|||
前级管道法兰(卡簧式) |
DN |
16 ISO-KF |
16 ISO-KF |
16 ISO-KF |
16 ISO-KF |
|||
保护气/破空端口(卡簧式) |
DN |
16 ISO-KF |
16 ISO-KF |
16 ISO-KF |
16 ISO-KF |
|||
水冷接口尺寸(可选) |
G |
1/8" |
1/8" |
1/8" |
1/8" |
|||
重量 |
kg (lbs) |
12 (26) |
12 (26) |
12 (26) |
12 (26) |
|||
更多信息请联系莱宝：安博元科技info
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