TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT
W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)
典型应用
- 半导体工业,诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺
- 进样室,转移室
- 粒子加速器
- 科研
- 镀膜系统
技术特点
- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统
- 轴承系统的数字监控
- 噪声和振动低
- 任意方向安装
- 的转子设计,实现高抽速和高前级耐压
- 智能电源控制系统
- CT版集成温度管理系统（TMS）
- C版耐腐蚀
客户得益
- 免维护
- 所有工艺气体都有高气载量
- 极限低,抽速高
- 前级耐压高
- 同类中重量较轻,尺寸较小
- 耐粉尘
- 温控达 90 °C (194 °F),避免沉积物
（CT版）
- 高耐腐蚀性-CT版
- 气体吹扫系统
更多信息请联系莱宝：安博元科技info
技术特点
- 主动定位五轴磁悬浮轴承系统
- 轴承系统的数字监控
- 噪声和振动低
- 任意方向安装
- 的转子设计,实现高抽速和高前级耐压
- 智能电源控制系统
- CT版集成温度管理系统（TMS）
- C版耐腐蚀
客户得益
- 免维护
- 所有工艺气体都有高气载量
- 极限低,抽速高
- 前级耐压高
- 同类中重量轻,尺寸小
- 耐粉尘
- 温控达 90 °C (194 °F),避免沉积物
（CT版）
- 高耐腐蚀性-CT版
- 气体吹扫系统
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典型应用
- 半导体工业,诸如蚀刻、CVD、PVD和离子注入之类的所有主要半导体工艺
- 进样室,转移室
- 粒子加速器
- 科研
- 镀膜系统
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技术参数 |
TURBOVAC MAG |
|||||||||
W 830 |
W 830 C |
W 1300 |
W 1300 C |
|||||||
进气口法兰 |
DN |
160 CF |
160 ISO-F |
200 CF |
200 ISO-F |
250 ISO-F |
||||
抽速 |
||||||||||
氮气 |
I x s-1 |
900 |
700 |
1170 |
1100 |
1220 |
||||
氩气 |
I x s-1 |
750 |
650 |
1100 |
1050 |
1180 |
||||
氦气 |
I x s-1 |
900 |
500 |
1150 |
1100 |
1200 |
||||
氢气 |
I x s-1 |
740 |
350 |
920 |
920 |
1020 |
||||
转速 |
min-1 |
36 000 |
24 000 |
36 000 |
36 000 |
36 000 |
||||
压缩比 |
||||||||||
氮气 |
1 5 x 108 |
> 5 x 107 |
1 5 x 108 |
> 108 |
> 108 |
|||||
DIN 28 400的极限压强 |
||||||||||
mbar |
< 1 x 10-10 |
< 10-8 |
< 1 x 10-10 |
< 10-8 |
< 10-8 |
|||||
(Torr) |
(< 0 75 x 10-10) |
(< 0 75 x 10-8) |
(< 0 75 x 10-10) |
(< 0 75 x 10-8) |
(< 0 75 x 10-8) |
|||||
前级耐压,氮气 |
||||||||||
对流冷却 水冷却 |
mbar (Torr)mbar (Torr) |
0 2 (0 15) 2 0 (1 5) |
–2 0 (1 5) |
0 2 (0 15) 2 0 (1 5) |
–2 0 (1 5) |
–2 0 (1 5) |
||||
推荐的前级泵 |
||||||||||
旋片泵 |
TRIVAC |
TRIVAC |
TRIVAC |
TRIVAC |
TRIVAC |
|||||
或抽速达100 m3/h的干压缩泵 |
D 65 BCS |
D 65 BCS |
D 65 BCS |
D 65 BCS |
D 65 BCS |
|||||
加速时间 |
min |
< 6 |
< 4 |
< 6 |
< 6 |
< 6 |
||||
前级管道法兰 |
DN |
40 ISO-KF |
40 ISO-KF |
40 ISO-KF |
40 ISO-KF |
40 ISO-KF |
||||
保护气/破空端口 |
DN |
10 ISO-KF/ 16 ISO-KF |
10 ISO-KF/ 16 ISO-KF |
10 ISO-KF/ 16 ISO-KF |
10 ISO-KF/ 16 ISO-KF |
10 ISO-KF/ 16 ISO-KF |
||||
水冷接口尺寸 |
||||||||||
(管子外径) |
mm (in ) |
1/4" |
1/4" |
1/4" |
6 |
6 |
||||
重量 |
kg (lbs) |
35 (77 3) |
32 (70 6) |
35 (77 3) |
32 (70 6) |
32 (70 6) |
||||
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