秉承莱宝Phoenix氦质普检漏仪精准、稳定、长使用寿命等优点,莱宝真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA残余气体分析仪,为半导体 、镀膜、冷冻干燥、热处理及科研等行业提供了更多的过程控制分析诊断支持.
莱宝LEYSPEC残余气体分析仪RGA的典型用途:
检漏
判断真空品质
检测工艺气体
提高品质和良品率
故障诊断分析
判断低温泵再生周期
产品类别
产品系列分别提供了100、200、300原子质量单位的解决方案。
LEYSPEC view版特别适用于高真空设备,科研、环境气氛检测及追踪中的残余气体分析。
LEYSPEC ultra版用于复杂的残余气体分析,灵敏度高,耐烘烤温度高,可检分压低。
更多信息请联系莱宝：安博元科技info
安博元科技无锡有限公司
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莱宝LEYSPEC残余气体分析仪RGA 客户受益：
过程可控
LEYSPEC自带数显,易于现场管理
赠送软件易于使用及分析并有报警功能
莱宝LEYSPEC残余气体分析仪RGA的典型应用：
半导体生产设备
镀膜、显示行业
真空热处理
真空干燥
研发
Leybold Name |
LEYSPEC view 100 |
LEYSPEC view 100S |
LEYSPEC view 200 |
LEYSPEC view 200S |
LEYSPEC ultra 200S |
LEYSPEC ultra 300S |
Mass Range (amu) |
1-100 |
1-100 |
1-200 |
1-200 |
1-200 |
1-300 |
Mass filter type |
QMS |
QMS |
QMS |
QMS |
QMS |
QMS |
detector type |
Faraday cup |
EM/Faraday Cup |
Faraday cup |
EM/Faraday Cup |
EM/Faraday Cup |
EM/Faraday Cup |
Sensitivity (A/mbar) |
1x10-5 |
400/1x10-5 |
1x10-5 |
400/1x10-5 |
400/2.5x10-4 |
400/2.5x10-4 |
Minimum detectable |
1x10-10 |
1x10-14 |
1x10-10 |
1x10-14 |
1x10-11 |
1x10-12 |
Max operating pressure (mbar) |
1x10-4 |
1x10-4 |
1x10-4 |
1x10-4 |
1x10-4 |
1x10-4 |
Filament material |
Ir/Y2O3 |
Ir/Y2O3 |
Ir/Y2O3 |
Ir/Y2O3 |
Ir/Y2O3 |
Ir/Y2O3 |
operating temp (°C) |
10-40 |
10-40 |
10-40 |
10-40 |
10-40 |
10-40 |
Max sensing temp (°C) |
120 |
120 |
120 |
120 |
250 |
250 |
Max.bake out temp (elec.removed) (°C) |
250 |
250 |
250 |
250 |
300 |
300 |
connection flange |
DN40CF |
DN40CF |
DN40CF |
DN40CF |
DN40CF |
DN40CF |
Power input |
DC24V +-10% 50W |
DC24V +-10% 50W |
DC24V +-10% 50W |
DC24V +-10% 50W |
DC24V +-10% 50W |
DC24V +-10% 50W |
Weight (kg) |
2,6 |
2,84 |
2,6 |
2,84 |
3,21 |
3,21 |
IP |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
Serial communication |
RS232C/RS485 |
RS232C/RS485 |
RS232C/RS485 |
RS232C/RS485 |
RS232C/RS485 |
RS232C/RS485 |
Software |
ECA |
ECA |
ECA |
ECA |
ECA |
ECA |
Resolution |
M/DeltaM=1M(10%PH) |
M/DeltaM=1M(10%PH) |
M/DeltaM=1M(10%PH) |
M/DeltaM=1M(10%PH) |
M/DeltaM=1M(10%PH) |
M/DeltaM=1M(10%PH) |
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