氦检质谱漏仪的原理
氦检质谱漏仪可查找漏点位置并测定漏率（通过漏孔的气体流量）。因此,氦质谱检漏仪是一台氦流量计。
检漏仪在工作过程中首先是对试验对象进行抽真空,来形成压差使外部气体穿过漏孔进入检漏仪。检漏仪利用内置氦质谱仪测量进入检漏仪气体氦分压并将测量结果转换为漏率显示。显示值单位一般采用流量单位。
重要技术规范
测量范围和响应时间是检漏仪的两个重要的参数。
测量范围用小和可检漏率限定。
小可检漏率用灵敏的测量范围系统的漂移与噪声之和定义。每分钟内系统噪声幅度和零点漂移相加就可以得到低可检漏率。检漏仪的零点漂移量非常小,所以一般仅采用噪声幅度就可以确定检漏仪的小可检漏率。可检漏率依赖于所采用的检漏方法,利用逆流法和分流法（参见下面的说明）可以测量非常大的漏率。此外,检漏仪内部的多级高阻抗输入开关放大器也能提高检漏仪测量大漏的能力。在实际的检漏操作过程中特别是查找漏点的时候,响应时间十分重要。该时间指从用氦气喷吹试验对象直到检漏仪显示测量值所用的时间。电子信号调节电路系统的响应时间是总响应时间的重要组成部分。对于检漏仪来说,电气系统的响应时间远小于1秒。
检漏设备对氦的有效抽速决定了氦气通过漏孔进入检漏仪的时间（如果检漏设备没有辅助抽空的系统,检漏仪内置的真空泵的大小会影响系统的响应时间）。检漏系统的响应时间可根据下面的简单公式计算：
氦响应时间
(达到实际漏率95%的时间)
其中 V = 试验对象容积
SHe= 检漏系统对氦的有效抽速。
用标准漏孔校准检漏仪
检漏工艺要求准确地区分漏与不漏的试用对象,避免任何失误。这就需要由标准漏孔（能产生已知氦漏率的人工漏孔）作为检漏设备的基准。为了获得准确的漏率数据,必须使用标准漏孔对校准检漏仪进行校准。
莱宝真空可以提供采用不同原理设计的漏率范围10 - 9 ~ 10 - 4毫巴x升x秒 - 1的氦标准漏孔。所有标准漏孔的漏率都可以追溯到PTB（ 联邦物理技术协会） 和
DAKKS认证认可的标准。根据客户的要求, 每个氦标准漏孔都可以提供由DAkkS认证认可委员会颁发的校准证书。校准工作由莱宝真空在PTB的DAKKS校准实验室完成。
更多信息请联系莱宝：安博元科技info
PHOENIX L300i MODUL是模块化的检漏仪。它以PHOENIX L300i为基础,但没有集成前级真空泵。客户可以根据特定用途选择并添加外部前级真空泵。适合大型真空室检漏或快速循环检大漏等检漏应用。
PHOENIX L300i MODUL保持PHOENIXL300i特性,并可以根据客户需求配置前级泵。
两个基本类型：
- 干式检漏系统（配置干式前级泵）
- 油式检漏系统（配置油封式前级泵）
PHOENIX L300i MODUL配置油封前级泵
根据检漏应用的要求配置抽速适当的前
级泵将检漏仪的功能发挥到。
客户得益
- 高效的检漏仪
- 抽速按照特定用途进行了优化
- 响应速度快
- 高灵敏度
- 可以快速定量地检测出小漏
PHOENIX L300i MODUL配置干式前级泵
为客户提供高效的干式检漏系统。
客户得益
- 大抽速,可用于测试半导体生产设备
而不必采用辅助抽空系统
- 响应速度快
- 恢复时间短（氦污染后）
- 干燥无油
- 高灵敏度
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PHOENIX L300i MODUL配置油封前级泵
典型应用
涉短循环和/或大容积、需要有移动式
检漏系统的所有用途,例如：
- 汽车工业
- 制冷行业
- 工业炉/机床/真空系统
- 包装
PHOENIX L300i MODUL配置干式前级泵
典型应用
需要工艺清洁的所有用途,例如：
- 半导体产业（芯片制造商）
- 半导体产业（OEM和分包商）
- 高纯度气体行业
- 科研
- 超高真空应用
更多信息请联系莱宝：安博元科技info
技术参数 |
PHOENIX L300i MODUL |
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配置单级旋片泵 |
配置双级旋片泵 |
配置涡旋泵 |
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小可检氦漏率真空模式吸枪模式（实验室数据） |
毫巴x升x秒-1毫巴x升x秒-1 |
≤5 x 10-11< 7 x 10-9 |
≤5 x 10-12< 7 x 10-9 |
≤8 x 10-12< 7 x 10-9 |
||||
小可检氢漏率真空模式吸枪模式 |
毫巴x升x秒-1毫巴x升x秒-1 |
≤1 x 10-8< 1 x 10-7 |
≤1 x 10-8< 1 x 10-7 |
≤1 x 10-8< 1 x 10-7 |
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入口高压强带分流系统 |
毫巴（托）毫巴（托） |
15 1000 |
15 1000 |
15 1000 |
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抽真空期间的抽速,泵（50赫兹） |
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SOGEVAC SV 16 BI |
立方米/小时 |
16 |
– |
– |
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SOGEVAC SV 28 BI |
立方米/小时 |
25 |
– |
– |
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SOGEVAC SV 40 BI |
立方米/小时 |
40 |
– |
– |
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TRIVAC D 16 B |
立方米/小时 |
– |
16 |
– |
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TRIVAC D 25 B |
立方米/小时 |
– |
26 |
– |
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SCROLLVAC SC 15 D |
立方米/小时 |
– |
– |
13 |
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SCROLLVAC SC 30 DL |
立方米/小时 |
– |
– |
26 |
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入口抽速（氦） |
升/秒 |
> 3 1 |
> 3 1 |
> 3 1 |
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漏率信号时间常数（达63%终值） |
秒 |
< 1 |
< 1 |
< 1 |
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小可检漏率 |
毫巴x升x秒-1 |
1 x 10-12to 1· 10-1 |
1 x 10-12to 1· 10-1 |
1 x 10-12to 1· 10-1 |
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测量单位（可选）压强漏率吸枪模式 |
mbar, Pa, atm, Torr mbar x l x s-1, Pa x m3x s-1, Torr x l x s-1, atm x cc x sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq |
mbar, Pa, atm, Torr mbar x l x s-1, Pa x m3x s-1, Torr x l x s-1, atm x cc x sec-1, sft3/yr ppm, g/a eq, oz/yr eq |
mbar, Pa, atm, Torr mbar x l x s-1, Pa x m3x s-1, Torr x l x s-1, ppm, g/a eq, oz/yr eq |
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检漏仪启动时间 |
分钟 |
< 2 |
< 2 |
< 2 |
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质谱仪 |
180°扇形磁场 |
180°扇形磁场 |
180°扇形磁场 |
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离子源 |
2氧化钇/铱长效阴极 |
2氧化钇/铱长效阴极 |
2氧化钇/铱长效阴极 |
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可检测质量数 |
2, 3和4 |
2, 3和4 |
2, 3和4 |
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入口 |
1 x DN 25 ISO-KF |
1 x DN 25 ISO-KF |
1 x DN 25 ISO-KF |
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尺寸（宽x高x深） |
mm |
495 x 456 x 314 |
495 x 456 x 314 |
495 x 456 x 314 |
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重量 |
千克(磅) |
30 |
30 |
30 |
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语言 |
英语、德语、中文、日语、俄语、法语、意大利语、西班牙语、波兰语和朝鲜语 |
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更多信息请联系莱宝：安博元科技info
订货信息 |
PHOENIX L300i MODUL |
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产品号 |
产品号 |
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PHOENIX L300i MODUL无前级真空泵115-230V,50/60Hz |
250002V01 |
250002V01 |
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附件 |
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推荐的前级真空泵SOGEVAC SV 16 BI SOGEVAC SV 28 BI SOGEVAC SV 40 BI TRIVAC D 16 B TRIVAC D 25 B SCROLLVAC SC 15 D SCROLLVAC SC 30 DL |
欧洲版230V, 50Hz960 286960 277根据需求提供113 25113 35133 001 133 050 |
美国版115V, 60Hz根据需求提供 根据需求提供根据需求提供 根据需求提供 根据需求提供133 101 133 051 |
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其他附件参见"PHOENIX L300i、PHOENIX L300iDRY和PHOENIX L300i MODUL附件"部分。 更多信息请联系莱宝：安博元科技info |
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采购中心
