说明
PTR 237 NPENNINGVAC系列真空变送器可提供从1×10-8毫巴到5×10-3毫巴的较大测量范围,基于对冷阴极电离电流的测量结果。
配备RS232数字通信接口(P/N: 89642V02)或EtherCAT数字通信接口(P/N: 230703V02)的变送器版本可设置变送器参数,并可提供实时压力测量结果。更多详情,请参阅通信协议300544663 (RS232)和300544664 (EtherCAT)。(P/N: 230703V02)
这些变送器用途广泛,可用作独立装置,或用于Graphix控制器(P/N: 230680V01、230681V01、230682V01)和Display控制器(P/N: 230001、230024、230025)。所有PENNINGVAC变送器均可向下兼容Graphix、Display和Center控制器。
每台变送器在出厂前已逐台进行全量程测试。测试报告随附在包装中。此外,每个变送器压力读数均在操作温度范围内逐一得到温度补偿。
变送器拥有多达三个机械继电器,这些继电器可用于过程控制,例如阀或泵的联锁。模拟电压输出可连接至外部模拟设备,获取压力读数,或进行压力控制。
传感器技术
冷阴极反磁控管采用高电压阳极、阴极和永磁体。电子向阳极加速,并将通过碰撞而使分子离子化。磁场使电子偏转,从而使电子在穿过磁场前往阳极时做螺旋形移动。这种螺旋运动增大了电子遇到分子并使分子离子化的机会。
分子离子化产生电流,该电流是压力的函数。
FAQ (常见问题解答)
应用
问:变送器和传感器元件能否持续承受机械前级泵的振动?
答:能,冷阴极传感器能够承受持续振动。
问:变送器能否兼容氟气?
答:不能,变送器不应在侵蚀性环境中使用,比如半导体蚀刻用途。
问:通过阀门闭合将变送器抽真空并隔离,压力却升高了。变送器是否泄漏?
答:不太可能,密闭空间排空且泵抽停止时,压力会因为以水蒸气为主的释气而上升。时间一久,压力很容易升至数毫巴。
问:当使用氦泄漏检测器测试变送器是否泄漏时,泄漏读数在约30秒后缓慢上升。变送器是否泄漏?
答:未泄漏,变送器内部密封使用了弹性体FPM密封,因此氦分子可渗透FPM材料,导致氦泄漏读数缓慢增长。如果直接使用氦泄漏检测器测试泄漏的变送器,则几乎会瞬间显示泄漏。
问:变送器是否可以安装在任何方向?
答:可以,变送器可以在任何方向安装,不会损及性能或校准。但是,为了避免颗粒或液体等污染进入设备,建议您不要将变送器的法兰口向上安装。
问:变送器可以承受瞬间通风吗?
答:可以,冷阴极传感器元件对机械力的耐受力,可以承受连续压力循环和瞬间空气通风。不建议在冷阴极开启时执行瞬间通风。
问:可否连接将由变送器继电器触点控制的阀门?
答:阀门等驱动感应式负载需要采取特殊的预防措施。请参阅第4.4章。
问:变送器可以承受多少次压力循环?
答:冷阴极传感器元件对压力变化的机械承受力很强,压力循环的次数不会影响变送器的使用寿命。在出现快速压力循环的应用中,冷阴极传感器可能发生溅射,从而导致精度变化。
问:冷阴极传感器腔室变色了,这是为什么?
答:如果冷阴极在高压(>1.00E-4毫巴)下操作,则冷阴极离子化电池的内壁可能被溅射。这将改变内部测量腔室的颜色,还有可能导致测量精度变化。
模拟输出
问:模拟输出的更新率是?
答:每秒16次。
问:模拟输出电缆的长度是?
答:模拟电缆长度取决于电缆质量和电气噪音环境,但除了电缆必须屏蔽之外,对长达100米的电缆长度一般不需要采取任何特殊的预防措施。
问:数字读数正确,但模拟输出读数与实际压力有些偏差,怎么办?
答:检查确保模拟输出连接到浮置输入,而非接地输入。如果连接的模拟输出回路接地,电源电流将流入信号线路,并导致压降和接地回路的形成。
数字输出
问:通过数字接口请求压力测量的速度有多快?
答:每秒10次是推荐的压力请求频率。
问:从开机到有效测量值要等多长时间?
答:开机顺序约为2秒。开机顺序期间,灯环亮起红光,数字接口对命令无回应。开启高压后,冷阴极会进行几分钟稳定。
问:变送器数字通信回应中为何有时会丢失首字符?
答:这可能是由变送器通信回应过快而导致的。请参阅通信协议300544663 (RS232)。
校准和调整
问:变送器需要的校准或零位调整频率是?
答:这取决于应用和压力范围,但是在众多应用中无需用户调整。暂时或影响测量性能的因素是污染、腐蚀、热和电子干扰。
问:电源关闭后,变送器是否会保留用户校准?
答:会,包括校准资料在内的所有变送器参数都存储在变送器的非易失性存储器内。
服务和维修
问:如果传感器元件被污染,能否更换?
答:能,可遵循第9章说明的步骤更换冷阴极阳极和阴极片。
问:+24伏直流电源电压连接到了模拟输出+。变送器是否损坏?
答:有可能,在向输出引脚通电时,模拟输出不受保护。
问:反向电压连接到了电源输入。变送器是否损坏?
答:不太可能,变送器电源电路具有反向电压和超压保护,但是Leybold不保证变送器不会因此损坏。
问:状态LED为何不断亮起红光?
答:当冷阴极已开启,但未成功引燃5分钟后,此LED将变为红光。
应用
变送器可用于众多不同领域的真空应用中,如：工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:
·一般真空压力测量
·涂料
·质谱仪控制
·系统过程控制
·检测异常压力,利用设定点继电器采取妥当的安全措施
·控制系统基础压力
测量原理: |
冷阴极离子化电流 |
||
测量范围(N2和空气): |
1×10-8至5×10-3毫巴 |
||
精确度(1)(N2): |
1×10-8至1x10-3毫巴: |
读数的±30% |
|
重复性(1)(N2): |
1x10-8至1x10-3毫巴: |
读数的±30% |
|
电源电压: |
9-30伏直流 |
||
功耗: |
< 2瓦 |
||
熔丝(热可恢复): |
200毫安 |
||
模拟输出: |
2-9.6伏直流,Log.1.33伏直流/十进制 |
||
模拟输出1分辨率: |
16位 |
||
模拟输出阻抗: |
100欧 |
||
模拟输出更新率: |
16赫兹 |
||
电压输出(如果CC未引燃): |
0.4伏直流 |
||
机械设定点继电器: |
|||
P/N: 15734V02, 15736V02: |
0 |
||
P/N: 89642V02: |
3 |
||
设定点继电器范围: |
1×10-8至5×10-3毫巴 |
||
设定点继电器触点额定值: |
1安/30伏直流/交流(电阻性负载) |
||
设定点继电器触点电阻: |
100毫欧(值) |
||
设定点继电器响应时间: |
<100毫秒 |
||
设定点继电器触点耐久性: |
100000循环(最小值) (30伏直流/1安负载) |
||
设定点继电器触点耐久性: |
2000000循环(最小值) (30伏直流/0.2安负载) |
||
软件设定点继电器: |
|||
P/N: 230703V02: |
2 |
||
设定点继电器响应时间: |
< 20毫秒 |
||
材料暴露于真空(2): |
304号不锈钢、密封材料FPM |
||
内部容积: |
KF25 |
28.6厘米3 |
|
CF40 |
32.7厘米3 |
||
外壳材质: |
304号不锈钢 |
||
法兰材质: |
304号不锈钢 |
||
重量: |
P/N: 15734V02、89642V02: |
321克 |
|
P/N: 230703V02: |
600克 |
||
P/N: 230281V02: |
318克 |
||
允许压力: |
6巴 |
||
运行温度: |
0至40°C (32至104°F) |
||
烘烤温度(电源关闭): |
85°C (185°F) |
||
灯丝温度: |
超过室温35°C |
||
异物防护等级: |
IP40 |
||
泄漏速率: |
< 5∙0-9毫巴∙升/秒 |
||
零件 |
产品号 |
PTR 225 N、DN 25 KF |
15734V02 |
PTR 225 N、DN 25 KF、RS232、3SP |
89642V02 |
PTR 225 N、EtherCat、DN 25 KF |
230703V02 |
PTR 237 N、DN 40 CF |
15736V02 |
阴极替换片PTR 90 N / PTR 225 N |
EK16291V02 |
阳极替换环PTR 90 N / PTR 225 N |
V02 |
Display 1 |
230001 |
Display 2 |
230024 |
Display 3 |
230025 |
Graphix 1 |
230680V01 |
Graphix 2 |
230681V01 |
Graphix 3 |
230682V01 |
A型电缆,5米 |
12426 |
A型电缆,10米 |
230012 |
A型电缆,15米 |
12427 |
A型电缆,20米 |
12428 |
A型电缆,30米 |
12429 |
A型电缆,50米 |
12431 |
A型电缆,75米 |
12432 |
A型电缆,100米 |
12433 |
螺旋管DN 25 ISO-KF |
230083 |
定心环(1.4305号不锈钢),含O型环 |
88374 |
定心环(不锈钢),含烧结金属过滤器 |
88352 |
卡环(铝) |
210043 |
隔板,含定心环(FPM) |
230078 |
采购中心
