说明
TTR 911 NTHERMOVAC系列真空变送器可提供从5×10-5到1000毫巴的较大测量范围,基于对MEMS Pirani硅芯片传感器上小空腔中的热传导性的测量结果。
配备RS232数字通信接口(P/N: 89660V02)或EtherCAT数字通信接口(P/N: 230700V02、230701V02)的变送器版本可设置变送器参数,并可提供实时压力测量结果。更多详情,请参阅通信协议300544663 (RS232)和300544664 (EtherCAT)。配备集成式触屏显示器(P/N: 8965402、89656V029)的变送器版本能够监控基本的变送器参数。更多详情,请参阅第6.4章。
TTR 911 NTHERMOVAC变送器用途广泛,可用作独立装置,或用于Graphix控制器(P/N: 230680V01、230681V01、230682V01)和Display控制器(P/N: 230001、230024、230025)。所有THERMOVAC变送器均可向下兼容Graphix、Display和Center控制器。
每台变送器在出厂前已逐台进行全量程测试。测试报告随附在包装中。此外,每个变送器压力读数均在操作温度范围内逐一得到温度补偿。
变送器拥有多达三个机械继电器,这些继电器可用于过程控制,例如阀或泵的联锁。模拟电压输出可连接至外部模拟设备,用于获取压力读数,或进行压力控制。
传感器技术
变送器具备单独的MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微电子机械系统))传感器元件,元件测量基于热传导性。MEMS Pirani传感器包含一个带有热电阻元件的硅芯片,其构成空腔的一个表面。芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面。由于传感器的几何形状,空腔内无法进行对流,因此,传感器对安装位置并不敏感。通过扩散,气体分子只到达热元件,在此处可测量气体的热损耗。传感器元件极为坚固耐用,可承受较高重力和瞬间空气涌入。
应用
变送器可用于众多不同领域的真空应用中,如:工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:
·一般真空压力测量
·前级管道和粗抽压力测量
·气体回填测量和控制
·质谱仪控制
·启动超高真空电离(UHV)规
·系统过程控制
·检测异常压力,利用继电器设定点采取妥当的安全措施
·控制系统压力
P/N: 89656V02和230701V02含有Parylene-HT®涂层传感器。
Parylene-HT®是保形涂层,气体阻隔性,不释气。与标准MEMS Pirani相比,Parylene-HT®涂层传感器对各种腐蚀性气体的耐受性更强。涂层覆盖整个传感器芯片,包括接线。因此,暴露于处理气体的材料只有Parylene-HT®涂层。如需更多详情,请联系应用支持部门。
废弃处理
TTR 911 N变送器是根据RoHS (在电子电气设备中限制使用某些有害物质)指令制造的。
技术数据
测量原理:热传导性依据MEMS Pirani传感器而定
测量范围(N2和空气): 5×10-5至1000毫巴
精确度(1)(N2): |
5×10-4至1x10-3毫巴: |
误差是读数的 |
±10% |
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1×10-3至100毫巴: |
误差是读数的 |
±5% |
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100至1000毫巴: |
误差是读数的 |
±25% |
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重复性(1)(N2): |
1×10-3至100毫巴: |
误差是读数的 |
±2% |
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电源电压: |
9-30伏直流 |
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功耗: |
< 1.2瓦 |
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熔丝(热可恢复): |
200毫安 |
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模拟输出(100欧阻抗): |
0.61-10伏直流,Log.1.286伏直流/十进制 |
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模拟输出分辨率: |
16位 |
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模拟输出更新率: |
16赫兹 |
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传感器故障,模拟输出: |
0.5伏 |
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材料暴露于真空(2): |
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P/N: 89654V02、89660V02、230700V02: |
304号不锈钢、密封材料FPM |
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P/N: 89656V02、230701V02: |
304号不锈钢、密封材料FPM、Parylene-HT® |
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机械设定点继电器: |
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P/N: 89660V02: |
3 |
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P/N: 89654V02、89656V02: |
2 |
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设定点继电器范围: |
2×10-4至1000毫巴 |
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设定点继电器触点额定值: |
1安/30伏直流/交流(电阻性负载) |
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设定点继电器响应时间: |
< 100毫秒 |
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设定点继电器触点电阻: |
100毫欧(值) |
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设定点继电器触点耐久性: |
100000循环(最小值) (30伏直流/1安负载) |
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设定点继电器触点耐久性: |
2000000循环(最小值) (30伏直流/0.2安负载) |
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软件设定点继电器: |
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P/N: 230700V02、230701V02: |
2 |
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数字接口循环时间 |
1毫秒 |
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内部容积: |
KF16: |
2.80厘米3 |
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外壳材质: |
304号不锈钢 |
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重量: |
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P/N: 89654V02、89656V02: |
292克 |
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P/N: 89660V2: |
168克 |
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P/N: 230700V02、230701V02: |
338克 |
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允许压力: |
6巴 |
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运行温度: |
0至40°C (32至104°F) |
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烘烤温度(电源关闭): |
85°C (185°F) |
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灯丝温度: |
超过室温35°C |
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异物防护等级: |
IP40 |
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泄漏速率: |
< 5∙0-9毫巴∙升/秒 |
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(1)精确度和重复性数值是零位调整后在室温氮气氛下测得的典型数值。 |
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(2)如需暴露于处理气体的所有材料的完整列表,请联系LEYBOLD。 |
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Parylene-HT®是Specialty Coating Systems, Inc的商标。 |
配件和备件编号
零件 |
产品号 |
TTR 911 N,DN16 KF,Display,2SP |
89654V02 |
TTR 916 N C,DN16 KF,Display,2SP |
89656V02 |
TTR 911 N,DN16 KF,RS232 |
89660V02 |
TTR 911 N,DN16 KF,EtherCat |
230700V02 |
TTR 911 N C,DN16 KF,EtherCat |
230701V02 |
备用传感器TTR 911 N/TTR 916 N,DN16 KF |
230650V02 |
备用传感器TTR 911 N C/TTR 916 N C,DN16 KF |
230651V02 |
Display 1 |
230001 |
Display 2 |
230024 |
Display 3 |
230025 |
Graphix 1 |
230680V01 |
Graphix 2 |
230681V01 |
Graphix 3 |
230682V01 |
A型电缆,5米 |
12426 |
A型电缆,10米 |
230012 |
A型电缆,15米 |
12427 |
A型电缆,20米 |
12428 |
A型电缆,30米 |
12429 |
A型电缆,50米 |
12431 |
A型电缆,75米 |
12432 |
A型电缆,100米 |
12433 |
螺旋管DN 16 ISO-KF |
230082 |
定心环(1.4305号不锈钢),含O型环,DN16 KF |
88346 |
定心环(不锈钢),含烧结金属过滤器,DN16 KF |
88351 |
卡环(铝),DN16 KF |
18341 |
定心环,含细滤器DN16 KF |
88396 |
更多信息请联系莱宝:安博元科技info