罗茨泵原理

罗茨真空泵工作原理 罗茨真空泵（简称罗茨泵）是一种旋转式变容真空泵。 它是由罗茨鼓风机演变而来的。根据罗茨真空泵工作范围 的不同,又分为直排大气的低真空罗茨泵；中真空罗茨泵 （又称机械增压泵）和高真空多级罗茨泵。一般来说,罗 茨泵具有以下特点： 在较宽的压强范围内有较大的抽速； 起动快,能立即工作； 对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感； 转子不必润滑,泵腔内无油； 振动小,转子动平衡条件较好,没有排气阀； 驱动功率小,机械摩擦损失小； 结构紧凑,占地面积小； 运转维护费用低。