说明
TTR 101 N THERMOVAC系列真空变送器可提供从5×10-5到1500毫巴的较大测量范围,基于对MEMS Pirani硅芯片传感器上小空腔中的热传导性和压电传感器中硅膜的机械偏转的测量结果。
配备RS232数字通信接口(P/N: 230366V02)和EtherCAT数字通信接口(P/N: 230702V02)的变送器版本可设置变送器参数,并可提供实时压力测量结果。更多详情,请参阅通信协议300544663 (RS232)和300544664 (EtherCAT)。配备集成式触屏显示器(P/N: 230354V02、230355V02、230356V02)的变送器版本能够监控基本的变送器参数。更多详情,请参阅第0章。
TTR 101 N THERMOVAC变送器用途广泛,可用作独立装置,或用于Graphix控制器(P/N: 230680V01、230681V01、230682V01)和Display控制器(P/N: 230001、230024、230025)。所有THERMOVAC变送器均可向下兼容Graphix、Display和Center控制器。
每台变送器在出厂前已逐台进行全量程测试。测试报告随附在包装中。此外,每个变送器压力读数均在操作温度范围内逐一得到温度补偿。
变送器拥有多达三个机械继电器,这些继电器可用于过程控制,例如阀或泵的联锁。模拟电压输出可连接至外部模拟设备,用于获取压力读数,或进行压力控制。
传感器技术
变送器含有两个独立的传感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微电子机械系统))传感器元件基于热传导性的测量结果。MEMS Pirani传感器包含一个带有热电阻元件的硅芯片,其构成空腔的一个表面。芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面。由于传感器的几何形状,空腔内无法进行对流,因此,传感器对安装位置并不敏感。通过扩散,气体分子只到达热元件,在此处可测量气体的热损耗。
压电传感器基于相对于集成式参考真空的硅膜机械偏转测量结果。压电传感器独立于气体成分和浓度来测量真实的压力。
这两个传感器元件都极为坚固耐用,可承受较高重力和瞬间空气涌入。
更多信息请联系莱宝：安博元科技info
变送器可用于众多不同领域的真空应用中,如：工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:
·真空锁压力控制
·一般真空压力测量
·前级管道和粗抽压力测量
·气体回填测量和控制
·质谱仪控制
·启动超高真空电离(UHV)规
·系统过程控制
·检测异常压力,利用设定点继电器采取妥当的安全措施
·控制系统压力
技术数据
测量原理:热传导性依据MEMS Pirani传感器而定
压电传感器中硅膜的机械偏转
P/N: 230350V02、230351V02、230352V02、230353V02、230354V02、230355V02、230356V02:
测量范围(N2和空气): 5×10-5至1500毫巴
精确度(1)(N2): 5×10-4至1x10-3毫巴:误差是读数的±10%
1×10-3至11毫巴:误差是读数的±5%
11至1333毫巴:误差是读数的±0.75%
1333至1500毫巴:误差是读数的±2%
重复性(1)(N2): 1×10-3至11毫巴:误差是读数的±2%
11至1067毫巴:误差是读数的±0.2%
P/N: 230366V02、230702V02:
测量范围(N2和空气): 5×10-5至1500毫巴
精确度(1)(N2): MEMS Pirani: 5×10-4至1x10-3毫巴:误差是读数的±10%
1×10-3至100毫巴:误差是读数的±5%
100至1000毫巴:误差是读数的±25%
压电值: 0.1至10毫巴:误差是读数的±1%±0.5毫巴
10至1333毫巴:误差是读数的±0.75%
1333至1500毫巴:误差是读数的±2%
重复性(1)(N2): MEMS Pirani: 1x10-3至100毫巴:误差是读数的±2%
压电值: 10至1067毫巴:误差是读数的±0.2%
电源电压: 9-30伏直流
功耗: < 1.2瓦
熔丝(热可恢复): 200毫安
模拟输出: 0.61-10.23伏直流,Log 1.286伏直流/十进制
模拟输出分辨率: 16位
模拟输出阻抗: 100欧
模拟输出更新率: 16赫兹
传感器故障,模拟输出: 0伏
机械设定点继电器:
P/N: 230350V02、230351V02、230354V02、230355V02: 0
P/N: 230352V02、230353V02、230356V02: 2
P/N: 230366V02: 3
设定点继电器范围: 2×10-4至1300毫巴
设定点继电器触点额定值: 1安/ 30伏直流/交流(电阻性负载)设定点继电器响应时间: < 100毫秒设定点继电器触点电阻: 100毫欧(值)设定点继电器触点耐久性: 100000循环(最小值) (30伏直流/1安负载)
设定点继电器触点耐久性: 2000000循环(最小值) (30伏直流/0.2安负载)
软件设定点继电器:
P/N: 230702V02: 2
响应时间: < 20毫秒
数字接口循环时间: 1毫秒
暴露在真空中的材料(2): 304号不锈钢,密封材料FPM
内部容积: KF16法兰2.8厘米3
NPT 1/8"3.1厘米3
外壳材质: 304号不锈钢
法兰材质: 304号不锈钢
重量:
P/N: 230350V02、230352V02、230366V02: 168克
P/N: 230351V02、230353V023: 183克
P/N: 230354V02、230356V02: 292克
P/N: 230355V02: 307克
P/N: 230702V02: 338克
允许压力: 3巴
运行温度: 0至40°C (32至104°F)
烘烤温度(电源关闭): 85°C (185°F)
灯丝温度:超过室温35°C
湿度: 0–95%非冷凝
异物防护等级: IP40
泄漏速率: < 5∙10-9毫巴∙升/秒
(1)精确度和重复性是零位调整后在室温氮气氛下测得的典型数值。(2)如需暴露于处理气体的所有材料的完整列表,请联系Leybold。
零件 |
产品号 |
TTR 101 N,DN16KF |
230350V02 |
TTR 101 N,1/8" NPT |
230351V02 |
TTR 101 N,DN16 KF,2SP |
230352V02 |
TTR 101 N,1/8" NPT,2SP |
230353V02 |
TTR 101 N,DN16 KF,Display |
230354V02 |
TTR 101 N,1/8 NPT,Display |
230355V02 |
TTR 101 N,DN16 KF,Display,2SP |
230356V02 |
TTR 101 N,DN16 KF,RS232,3SP |
230366V02 |
TTR 101 N,DN16 KF,EtherCat |
230702V02 |
备用传感器,TTR 101 N,DN16 KF |
230361V02 |
备用传感器,TTR 101 N,1/8" NPT |
230362V02 |
Display One |
230001 |
Display Two |
230024 |
Display Three |
230025 |
Graphix One |
230680V01 |
Graphix Two |
230681V01 |
Graphix Three |
230682V01 |
A型电缆,5米 |
12426 |
A型电缆,10米 |
230012 |
A型电缆,15米 |
12427 |
A型电缆,20米 |
12428 |
A型电缆,30米 |
12429 |
A型电缆,50米 |
12431 |
A型电缆,75米 |
12432 |
A型电缆,100米 |
12433 |
螺旋管DN 16 ISO-KF |
230082 |
定心环(1.4305号不锈钢),含O型环,DN16 KF |
88346 |
定心环(不锈钢),含烧结金属过滤器,DN16 KF |
88351 |
卡环(铝),DN16 KF |
18341 |
定心环,含细滤器DN16 KF |
88396 |
采购中心
