TTR 91 NSTHERMOVAC系列真空变送器可提供从5×10-5到1000毫巴的较大测量范围,基于对MEMS Pirani硅芯片传感器上小空腔中的热传导性的测量结果。
TTR 91 NSTHERMOVAC变送器用途广泛,可用作独立装置,或用于Graphix控制器(P/N: 230680V01、230681V01、230682V01)和Display控制器(P/N: 230001、230024、230025)。所有THERMOVAC变送器均可向下兼容Graphix、Display和Center控制器。
每台变送器在出厂前已逐台进行全量程测试。测试报告随附在包装中。此外,每个变送器压力读数均在操作温度范围内逐一得到温度补偿。
变送器拥有多达三个机械继电器,这些继电器可用于过程控制,例如阀或泵的联锁。模拟电压输出可连接至外部模拟设备,用于获取压力读数,或进行压力控制。
传感器技术
变送器具备单独的MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微电子机械系统))传感器元件,元件测量基于热传导性的测量。MEMS Pirani传感器包含一个带有热电阻元件的硅芯片,其构成空腔的一个表面。芯片顶部的封盖形成空腔的另一表面。由于传感器的几何形状,空腔内无法进行对流,因此,传感器对安装位置并不敏感。通过扩散,气体分子只到达热元件,在此处可测量气体的热损耗。传感器元件极为坚固耐用,可承受较高重力和瞬间空气涌入。
应用
变送器可用于众多不同领域的真空应用中,如:工业应用、研发、半导体、分析和涂料工业中:
·一般真空压力测量
·前级管道和粗抽压力测量
·气体回填测量和控制
·质谱仪控制
·启动超高真空电离(UHV)规
·系统过程控制
·检测异常压力,利用继电器设定点采取妥当的安全措施
·控制系统压力
P/N: 230045V02和230047V02含有Parylene-HT®涂层传感器。
Parylene-HT®是保形涂层,气体阻隔性,不释气。与标准MEMS Pirani相比,Parylene-HT®涂层传感器对各种腐蚀性气体的耐受性更强。涂层覆盖整个传感器芯片,包括接线。因此,暴露于处理气体的材料只有Parylene-HT®涂层。如需更多详情,请联系应用支持部门。
废弃处理
TTR 91 N和96 N变送器是根据RoHS (在电子电气设备中限制使用某些有害物质)指令制造的。
技术数据
测量原理:热传导性依据MEMS Pirani传感器而定
测量范围(N2和空气): 5×10-5至1000毫巴
精确度(1)(N2): 5×10-4至1x10-3毫巴:误差是读数的±10%
1×10-3至100毫巴:误差是读数的±5%
100至1000毫巴:误差是读数的±25%
重复性(1)(N2): 1×10-3至100毫巴:误差是读数的±2%
电源电压: 9–30伏直流
功耗: < 1.2瓦
熔丝(热可恢复): 200毫安
模拟输出(100欧阻抗): 0.61–10伏直流,Log.1.286伏直流/十进制
模拟输出分辨率: 16位
模拟输出更新率: 16赫兹
传感器故障,模拟输出: 0.5伏
材料暴露于真空(2):
P/N: 230035V02至230043V02: 304号不锈钢、密封材料FPM
P/N: 230045V02、230047V02: 304号不锈钢、密封材料FPM、Parylene-HT®
设定点继电器:
P/N: 230035V02至230038V02: 0
P/N: 230040V02至230047V02: 2
设定点继电器范围: 2×10-4至1000毫巴
设定点继电器触点额定值: 1安/ 30伏直流/交流(电阻性负载)
设定点继电器响应时间: < 100毫秒设定点继电器触点电阻: 100毫欧(值)设定点继电器触点耐久性: 100000循环(最小值) (30伏直流/1安负载)
设定点继电器触点耐久性: 2000000循环(最小值) (30伏直流/0.2安负载)
内部容积:
P/N: 230035V02、230040V02、230045V02: KF16 2.80厘米3
P/N: 230036V02: CF 16 3.71厘米3
P/N: 230038V02、230043V02: NPT 1/8"3.04厘米3P/N: 230037V02、230047V02:CF 16 (可烘烤) 23.14厘米3
外壳材质: 304号不锈钢
重量:
P/N: 230035V02、230040V02、230045V02: 168克
P/N: 230036V02: 195克
P/N: 230038V02、230043V02: 183克
P/N: 230037V02、230047V02: 250克
允许压力: 6巴
运行温度: 0至40 °C (32至104 °F)
烘烤温度(电源关闭)(3): 85 °C (185°F)
250 °C (482°F) (仅适用于P/N: 230037V02、230047V02)(3)
灯丝温度:超过室温35 °C
异物防护等级: IP40
泄漏速率: < 5∙10-9毫巴∙升/秒
(1)精确度和重复性数值是零位调整后在室温氮气氛下测得的典型数值。
(2)如需暴露于处理气体的所有材料的完整列表,请联系Leybold。
(3)只有CF 16法兰末端处允许采用烘烤温度。变送器温度不得超过85 °C (185°F)。因此,不建议在烘烤期间热绝缘或直接加热变送器和法兰。
配件和备件编号
零件 |
产品号 |
TTR 91 N,DN16 KF |
230035V02 |
TTR 91 N,DN16 CF |
230036V02 |
TTR 91 N,DN16 CF,可烘烤 |
230037V02 |
TTR 91 N,1/8" NPT |
230038V02 |
TTR 91 N,DN16 KF,2SP |
230040V02 |
TTR 91 N,1/8" NPT,2SP |
230043V02 |
TTR 96 N C,DN16 KF,2SP |
230045V02 |
TTR 96 N C,DN16 CF,可烘烤,2SP |
230047V02 |
Display 1 |
230001 |
Display 2 |
230024 |
Display 3 |
230025 |
Graphix 1 |
230680V01 |
Graphix 2 |
230681V01 |
Graphix 3 |
230682V01 |
A型电缆,5米 |
12426 |
A型电缆,10米 |
230012 |
A型电缆,15米 |
12427 |
A型电缆,20米 |
12428 |
A型电缆,30米 |
12429 |
A型电缆,50米 |
12431 |
A型电缆,75米 |
12432 |
A型电缆,100米 |
12433 |
螺旋管DN 16 ISO-KF |
230082 |
定心环(1.4305号不锈钢),含O型环,DN16 KF |
88346 |
定心环(不锈钢),含烧结金属过滤器,DN16 KF |
88351 |
卡环(铝),DN16 KF |
18341 |
定心环,含细滤器DN 16 ISO-KF |
88396 |
CF螺栓,含双螺母M4+20 |
83887 |
CF铜垫片DN16 CF |
ES83941 |
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